CoSiN薄膜的制备

文章采用磁控溅射的方法在n型硅基底上制备了CoN和SiN薄膜,再用薄膜测厚仪和四探针测试仪(EPP)测出样品的厚度及方块电阻,得到制备CoN和SiN薄膜的优化条件,然后由CoN和SiN薄膜制备出CoSiN薄膜。     

Cu在CoN和CoSiN薄膜中的扩散研究

利用磁控溅射的方法在n型硅基底制备了Cu／CoN／Si（100）和Cu／CoSiN／Si（100）薄膜,并对它们进行了不同温度的退火．用原子力显微镜观察了它们的表面形貌．用扫描透射电镜能谱分析法得到了在不同退火温度下铜在上面两种薄膜中浓度与表面距离的分布,然后利用菲克第二定律对Cu／CoN／Si和Cu／CoSiN／Si体系中cu的扩散进行了计算和分析,得出中温条件（300℃-700℃）下Cu在CoN和CoSiN两种薄膜中的扩散系数表达式分别为8．98×10^-13exp（-0．45eV／kT）cHf／s和5．39×10^-11exp（-0．49eV／kT）Cm2／s．     

CoSiN薄膜的制备

文章采用磁控溅射的方法在n型硅基底上制备了CoN和SiN薄膜,再用薄膜测厚仪和四探针测试仪(EPP)测出样品的厚度及方块电阻,得到制备CoN和SiN薄膜的优化条件,然后由CoN和SiN薄膜制备出CoSiN薄膜.     

物理教学改革探析

学习物理的一个重要目的是要学会用物理的方式去思考物理问题,用物理的眼光去看世界、去了解世界、去发现世界。物理教学需要强调运用物理思维,而物理的思维就要求人们用相对的观念去认识世界。在教与学的过程中要体会相对的观念,并用这种相对思维去指导生活。     

物理教学改革探析

学习物理的一个重要目的是要学会用物理的方式去思考物理问题,用物理的眼光去看世界、去了解世界、去发现世界。物理教学需要强调运用物理思维,而物理的思维就要求人们用相对的观念去认识世界。在教与学的过程中要体会相对的观念,并用这种相对思维去指导生活。     

硅锗合金的热学性质

硅锗合金是一种无限互溶的固溶体,它可以通过精确改变组分的含量来获得.国内外对硅锗材料在微光电子的研究已有报道,但对其热学性质的研究还很少.文章通过介绍了组分、载流子的浓度以及声子对硅锗合金热导率的影响,突出了温度和比热容对硅锗合金热导率的影响函数关系.