排序方式: 共有3条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
2.
3.
介绍了一种基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜改造的总体方案、系统测量原理、仪器结构,以及对标准样板及圆柱零件的测试结果。该测量系统已对本科生和研究生开出实验并投入实用,其垂直分辨率为2 nm,横向分辨率为0.3μm,垂直扫描范围为80μm。 相似文献
1