电子行业用高纯钨制备技术 |
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引用本文: | 申璐,邓启煌.电子行业用高纯钨制备技术[J].中国科技信息,2019(14). |
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作者姓名: | 申璐 邓启煌 |
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作者单位: | 国家开发银行宁波市分行;长江师范学院材料学院 |
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摘 要: | 由于钨及其合金的高熔点和室温脆性,传统凝固成型及冷加工方案难以适用,高纯钨产品基本上代表了高纯金属制造技术的尖端水平。尽管我国是钨资源大国,但目前国内仅有少数企业能够生产集成电路用高纯钨靶材等产品,本文介绍了高纯钨产品制造相关的技术和国内专利情况,对了解这一领域提供参考。
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