| MEMS的应用及发展前景 |
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| 引用本文： | 刘虹,刘洁,杨立峰.MEMS的应用及发展前景[J].云南电大学报,2003,5(3):61-62. |
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| 作者姓名： | 刘虹 刘洁 杨立峰 |
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| 作者单位： | 1. 云南广播电视大学,云南,昆明,650223
2. 昆明理工大学,云南,昆明,650031 |
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| 摘 要： | MENS是当今迅速发展的一门新兴学科。本在对MEMS技术进行概述的基础上，列举了MENS技术的应用，介绍了MENS技术的发展前景。
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| 关 键 词： | MEMS 微机械系统 微电子技术 微传感器 微执行器 信号处理 电路 电源 中国 |
| 文章编号： | 1009-4814(2003)03-0061-02 |
| 修稿时间： | 2003年7月18日 |
Application and Prospect of MEMS |
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| LIU Hong,LIU Jie,YANG Li-feng.Application and Prospect of MEMS[J].Journal of Yunnan Rty University,2003,5(3):61-62. |
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| Authors: | LIU Hong LIU Jie YANG Li-feng |
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| Abstract: | To study the MEMS technology and promote its development concerns whether China can win its relevant status in the second run of the micro - electronic industry. The paper enumerates the application of the MEMS technology and presents its prospects from the summarization of the MEMS technology. |
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| Keywords: | MEMS micro - electronic technology micro - mechanical system |
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