|
|||||
|
|
| 非晶碳氮薄膜的X射线光电子能谱研究 | |
| 引用本文： | 倪静,郝希平,李立本,李小红,吴卫东.非晶碳氮薄膜的X射线光电子能谱研究[J].平原大学学报,2009(4). |
| 作者姓名： | 倪静 郝希平 李立本 李小红 吴卫东 |
| 作者单位： | 河南科技大学理学院;中国工程物理研究院激光聚变研究中心; |
| 基金项目： | 国家863计划项目资助课题(2006AA804405) |
| 摘 要： | 采用空心阴极等离子体化学气相沉积法,在甲烷-氨气、氢气混合气体体系下,制备出了非晶碳氮薄膜。利用原子力显微镜(AFM)及X射线光电子能谱(XPS)对薄膜的表面形貌、成分及微观结构进行了测试和表征。结果表明,薄膜的表面光滑、致密,均方根粗糙度小于0.5 nm;薄膜中的氮含量随NH3(H2)流速的增加呈现降低的趋势,sp2C-N及sp3C-N键含量均随氮含量的增加而增加。 |
| 关 键 词： | 非晶碳氮薄膜 X射线光电子能谱 氮含量 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |