| Piezo微步进执行器的时间响应分析 |
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| 引用本文： | 周自强,胡朝斌,马文斌,沈世德,易风.Piezo微步进执行器的时间响应分析[J].常熟理工学院学报,2007,21(10):92-95. |
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| 作者姓名： | 周自强 胡朝斌 马文斌 沈世德 易风 |
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| 作者单位： | 常熟理工学院,机电工程系,江苏,常熟,215500 |
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| 基金项目： | 江苏省教育厅自然科学基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种新型二维超精密微步进工作台的结构形式,并针对该结构设计了相应的微步进执行器.以新型功能材料Piezo作为驱动元件,分析了微步进执行器的机电耦合模型,在此基础上对其时间响应进行了分析,总结了时间响应的影响因素,同时提出了相应的解决方法.
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| 关 键 词： | 超精密 微步进 时间响应 |
| 文章编号： | 1008-2794（2007）10-0092-04 |
| 收稿时间： | 2007-09-23 |
| 修稿时间： | 2007年9月23日 |
The Research of the Response Time for Piezoelectric Stepping Actuator |
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| ZHOU Zi-qiang,HU Chao-bin,MA Wen-bin,SHEN Shi-de,YI Feng.The Research of the Response Time for Piezoelectric Stepping Actuator[J].Journal of Changshu Institute of Technology,2007,21(10):92-95. |
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| Authors: | ZHOU Zi-qiang HU Chao-bin MA Wen-bin SHEN Shi-de YI Feng |
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| Abstract: | A new structured 2D ultra-precision positioning table is presented,which use piezo as actuator,the digital stepping actuator of the positioning table is designed.The model of the micro stepping actuator is illustrated,Based on the analysis of response time,the influence factor of resporse time is discussed,and the corressponding approaches for improving response time are presented. |
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| Keywords: | ultra-precision Micro stepping Response time |
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