| 电子工厂化学品供应与回收系统概述 |
| |
| 引用本文： | 吴秀娟.电子工厂化学品供应与回收系统概述[J].大众科技,2013(4):67-70. |
| |
| 作者姓名： | 吴秀娟 |
| |
| 作者单位： | 上海华虹NEC电子有限公司,上海 201206 |
| |
| 摘 要： | 本文主要介绍了生产新型显示器件、集成电路芯片等电子工厂中的化学品供应及回收系统的类型、基本构成、主要安全技术措施等,可供系统优化时参考。
|
| 关 键 词： | 化学品供应系统 回收处理系统 系统类型 排放控制 安全措施 |
The Overview of Chemical Supply and Recovery System in Electronics Factory |
| |
| Abstract: | This paper introduced the type,basic structure and main safety technical measures of chemical supply and recovery systems in the electronics factory which produce new display devices,IC chips.This paper can be referenced available for system optimization. |
| |
| Keywords: | chemical supply system recovery system system type emissions control safety measure |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
