微机电系统性能检测的分析与研究

微机电系统是一种集微电子电路和微机械致动器的微小器件，微传感器的性能检测可通过对系统输入量和输出量的检测，选择合适的测试仪器和测试方法来实现，根据角频率的推导，采用频率响应方法，其结果比通过传递函数数值分析得到的谐振角频率精确得多。