| 快速冷热循环仪的研制 |
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| 引用本文： | 胡慧,金清,王慧,董阳,吴伟鸿,虞栋伟,陶旭东,洪庆,鹿业波.快速冷热循环仪的研制[J].环球赛鸽科技,2015(2). |
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| 作者姓名： | 胡慧 金清 王慧 董阳 吴伟鸿 虞栋伟 陶旭东 洪庆 鹿业波 |
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| 作者单位： | 嘉兴学院机电工程学院,浙江嘉兴,314001 |
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| 基金项目： | 国家级大学生创新创业训练计划项目，浙江省钱江人才资助项目 |
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| 摘 要： | 本文设计了一种快速冷热循环仪,可以实现对金属薄膜材料快速变温的控制,用于研究温度变化对薄膜的影响以改善集成电路的可靠性.该仪器包括升降位移机构、运动控制系统和水冷系统及加热系统等.通过计算机控制伺服电机以驱动移动装置快速上升和下降,从而使加热系统靠近及远离金属薄膜材料,使其迅速变温达到设定温度,通过冷却循环系统达到辅助降温的目的.该方法实现了对温度、时间、循环次数的控制,既可以迅速升温,快速给金属材料加热,又通过冷却液的循环加快降温速率.
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| 关 键 词： | 金属薄膜 快速冷热 冷热循环仪 温度控制 |
Design and Fabrication of Rapid Cool-thermal Cycle System |
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