极大规模集成电路平坦化工艺与材料——河北工业大学刘玉岭教授研究成果

随着微电子技术进入65nm及以下技术节点．集成电路布线层数已达10层以上,布线间介质使用LowK介质。每层都必须进行化学机械抛光（CMP）,使平整度达到纳米级、粗糙度达埃米级的光刻要求,需要低机械强度（1Psi以下）完成CMP,实现表面全局和局部的高平整、低粗糙度、低缺陷密度和高洁净度。多年来我国在多层铜布线以及ULSI硅衬底单晶片CMP技术专用材料方面长期受美、日控制和制约,而且目前占国际市场65％以上的酸性抛光液存在亟待解决的多项技术难题。     

琳琅满目的人工晶体

微电子产业是信息产业中一个重要支柱。材料在微电子(集成线路)技术发展中起着非常重要的作用,这些材料包括芯片材料、封装材料、光刻材料及其它辅助材料。其中决定其发展的核心是作为超大规模集成电路衬底的硅单晶。至今硅单晶的直径已经发展到12″(300mm)至16″(400mm)。同时对硅单晶的完整性(无位错)、纯度及加工的要求也越来越高。目前全球硅单晶年产量已达万余吨,半导体     

“思想体操”的玫瑰舞者——历史上著名的女数学家(下)

正代数女皇-埃米·诺特(1882~1935),德国数学家,被誉为"抽象代数之母"。1882年3月23日,诺特出生于德国埃尔朗根的一个犹太人家庭,和很多女孩一样,年少的诺特多才多艺,能歌善舞,但是,她通往成功的道路同样艰难曲折。诺特1900年进入埃尔朗根大学学习,25岁时,她在数学家哥尔丹教授的指导下顺利获得博士学位,不久后凭借数学才能赢得了声誉。诺特的工作在代数拓扑学、代数数论、代数几何的发展中有重要影响。1907-1919年,她的主要研究方向是代数不变式及微分不变式。诺特     

准晶研究及其在中国科学院的进展

五次对称与准晶的发现准晶(Quasicrystal)是准周期晶体(Quasiperiodic Crystal)的简称。顾名思义,它仍然是晶体,只不过是其中的原子分布不象传统的晶体中的那样具有周期性,只有准周期性。Hauy在18世纪末研究方解石时,认识到无论是六角柱方解石,还是菱面体方解石,都是由很多的菱面体单元(晶胞)在三维空间中周期性排列而成的。Bravais在1850年总结出晶体的平移周期性,也就是说,晶胞在空间中的周期排列方式只有14种,可用14种空间点阵概括。受周期平移对称性的约束,晶体的旋转对称只能有1、2、3、4、6五种(1是旋转360°复原,等     

光子晶体光纤的应用和研究进展

光子晶体光纤与普通光纤在光纤结构、单模特性、色散特性和非线性特性等方面有着显著的差别.文章简要分析PCF的原理,并探讨其重要特性以及应用价值,最后回顾了近来PCF的研究进展.     

光子晶体光纤的应用和研究进展

光子晶体光纤与普通光纤在光纤结构、单模特性、色散特性和非线性特性等方面有着显著的差别。文章简要分析PCF的原理,并探讨其重要特性以及应用价值,最后回顾了近来PCF的研究进展。     

展望21世纪人工智能晶体

<正> 人工晶体作为一门科学,它包括材料制备科学、晶体生长机理、新晶体材料的探索和晶体的表征等方面,充分体现了材料科学、凝聚态物理和固体化学等多学科交叉的特点。 中国现代人工晶体的研发起步较晚,20世纪五十年代后期有较大的发展。目前,主要依靠自己的技术,几乎所有重要的人工晶体都已成功地生长出来,许多晶体的尺寸和质量达到了较高水平,享誉国际市场,如,偏硼酸钡(BBO),三硼酸锂(LBO),锗酸铋(BGO),磷酸钛氧钾(KTP)等,其中BBO和LBO都是由我国首先研制出来的,用下降法大规模生长BGO,用助熔剂法批量稳定生长KTP的技术也是由我国首先     

无机功能晶体材料的发展

本文扼要地介绍了无机功能晶体材料的发展情况,分析了我国在此领域的优势及与世界先进水平相比的差距,并对今后如何加强我国晶体材料研究工作提出了建议。     

高精密SC切晶体谐振器的设计与实现

随着世界现代通信业的迅猛发展,对高技术指标、高可靠元器件的要求日益迫切,尤其对尖端高档晶体振荡器提出了更高的要求,而作为高档晶体振荡器的核心-高档晶体谐振器是重中之重,其中SC切晶体谐振器比AT切的具有更多的优点.本文探讨了高精密SC切晶体谐振器的设计与实现.     

人造光子晶体与自然光子晶体

结合人造光子晶体和自然光子晶体的特性,论述了人造光子晶体在科学技术领域的作用与意义,同时论述了自然光子晶体在人类了解和利用自然界方面的作用与意义。     

无机硫酸盐催化合成邻苯二甲酸二丁酯

研究了硫酸盐晶体催化剂合成邻苯二甲酸二丁酯反应,并且着重考察了催化剂硫酸铝晶体对酯化反应的影响,在适当的反应条件下即催化剂用量占原料总量的2%,醇酐的比为4.0:1.0,温度控制在120℃到130℃之间,反应时间为3.5到4.0小时,其转化率可达到76.11%.     

纳米晶体材料的研究进展

本文综述近年来在纳米晶体材料研究领域某些方面的最新研究进展,包括纳米晶体材料的形成与制备、纳米晶体的微观结构特征、力学性能及热稳定性等,并对其研究前景进行展望。     

光子晶体及其应用研究

在光学尺度上具有周期性介电结构的人工设计和制造的光子晶体以其特有的性状——光子禁带和光子局域等,在众多领域发挥越来越重要的作用。     

光子晶体及其应用研究

在光学尺度上具有周期性介电结构的人工设计和制造的光子晶体以其特有的性状——光子禁带和光子局域等,在众多领域发挥越来越重要的作用。     

低温相偏硼酸钡(BBO)晶体的发现和意义

即将形成的高技术产业——光电子工业自六十年代激光问世以来,由于激光束在方向性,相干性,单色性和高储能性等方面具有突出的优点,以及能对激光束进行调频,调幅,调相,调偏作用的非线性光学晶体(包括电-光晶体)和光折变晶体的相应发展,已使激光技术在工业,农业,军事,医学等领域中得到了广泛的应用。近些年来更趋活跃,往往在实验室取得成果后的一二年内就能迅速形成产业,转化周     

光子晶体应用分析

光子具有高传输速度、高密度及高容错性等优点,光子代替电子作为信息载体是二十一世纪信息技术的发展趋势。本文主要介绍了光子晶体的结构特征和应用前景。     

关于在863计划中恢复“人工晶体”专项的提案

去年10月1日,科技部发布了一份“863计划新材料技术领域”重点项目课题申请指南。该指南虽是以“新材料”冠名,但涉及的大部分课题都是全固态激光器及其应用技术。该指南设置四个课题方向分别是:(1)5千瓦级     

磁性光子晶体研究进展

光子晶体是现在科学研究的一个热点问题。介绍了光子晶体的概念和光子晶体的研究进展,并着重介绍了现在光子晶体研究的一个重要方面——磁性光子晶体。文章介绍了磁性光子晶体的研究方法,并且给出了当前在实验和理论上所得到的科研成果。