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对蓝宝石衬底片的化学机械抛光进行了研究。系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,通过大量实验总结出了其影响因素并提出了优化方案,结果表明,采用粒径为40nm、低分散度的SiO2溶胶磨料并配合以适当参数进行抛光,可以获得良好的表面状态和较高的去除速率。能够有效提高蓝宝石表面的性能及加工效率。 相似文献
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用于GaN生长的蓝宝石衬底片化学机械抛光工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
对蓝宝石衬底片的化学机械抛光进行了研究.系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,通过大量实验总结出了其影响因素并提出了优化方案,结果表明,采用粒径为40nm、低分散度的SiO2溶胶磨料并配合以适当参数进行抛光,可以获得良好的表面状态和较高的去除速率.能够有效提高蓝宝石表面的性能及加工效率. 相似文献
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为了消除单点金刚石车削(SPDT)后KDP晶体表面留下的周期性小尺度波纹,文章探索采用离子束溅射沉积-刻蚀的方法对车削后KDP晶体进行抛光加工。本文主要分析了平坦化层材料的选择,溅射沉积工艺参数对KDP晶体平坦化层粗糙度的影响,并计算了平坦化层刻蚀速率从而完成了刻蚀转移。利用刻蚀转移成功地将单点金刚石车削后的表面由初始的6.54nmRMS,经过1.76nmRMS的平坦化层,最终刻蚀转移到KDP晶体表面得到1.84nmRMS的光滑表面,实验结果验证了离子束溅射沉积—刻蚀抛光方法的可行性。 相似文献
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《科技通报》2017,(12)
采用激光表面淬火工艺对45钢表面进行强化处理,研究工艺改变对材料表面性能的影响。通过正交试验,研究不同工艺参数(激光功率、扫描速度、光斑直径)对45钢显微组织和性能的影响。结果表明:对硬度而言,激光功率为主要因素,光斑直径为次要因素;对层深而言,扫描速度为主要因素,激光功率为次要因素。光斑直径的增加硬化层的深度是不断减少的,淬火硬度随着激光光斑的大小的变化的规律并不明显,激光功率过大,光斑直径过小或者扫描速度太慢时,都将引起材料表面温度升高的太高,进而使得材料表面的硬度降低和硬度分布不均匀。通过试验激光淬火的优化工艺参数,P=1400 W,V=10,D=2.5 mm。在上述优化工艺参数下,材料的平均硬度达到了42HRC,淬硬层深达到了0.62 mm。 相似文献
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<正>作为抛光速率和抛光效果俱佳的抛光技术,化学机械抛光得到了广泛的发展与研究,本文梳理化学机械抛光技术的专利申请趋势、创新主体、重点专利等方面,对化学机械抛光进行专利分析,为该领域技术人员了解专利申请情况提供参考。概述化学机械抛光(Chemical Mechanic Polishing,CMP)是一种表面全局平坦化技术,它利用磨损中的“软磨硬”原理,即采用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光;基本工艺是将待抛光工件置于由纳米级磨料颗粒、 相似文献
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薄膜材料的表面形貌直接影响到它的电阻率、介电常数等物理性能,描述薄膜材料的表面形貌对了解其可能产生的物理性能具有重要意义。由于分形盒维数能够综合反映出晶体大小,晶体的不规则程度、晶体排列的致密性等表面形貌结构特征,因而本文的研究拟运用计算机图像分析技术,从分形的角度综合描述薄膜材料表面形貌,并将其分形维数的大小和其电阻率的大小关联起来。本文的研究将有助于阐明晶体排列等结构与物理性能的关系,有助于指导材料制备。 相似文献
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前言:大底架结构简介。大底架沿纵、横向截面对称,全长为26670mm,两心盘中心距为25570mm,承载面长9800mm、宽2630mm,大底架截面高度是变化的,其两端平直部分为650mm,中部为840mm,大底架下弯角部位内侧园弧半径为300mm,外侧为900mm,上弯角部位内侧园弧半径为900mm,外侧为1700mm,弯角部斜面与水平面之夹角在下盖板处为65°。在大底架两层地板R300弯角至上弯角处采用15MnVNi材料,其余为16Mnq低合金钢,大底架为全焊接封闭式结构,整个结构由四根厚16mm(弯角部为25mm)的纵向腹板、上盖板、下盖板、以及多块16mm厚的横向隔板和筋板组焊面 相似文献
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在化学机械抛光过程中,抛光垫表面沟槽形状是决定抛光垫性能的重要影响因素之一,它会直接影响抛光效果。在分析几种常规抛光垫表面沟槽结构形状的特性的基础上,介绍了新型抛光垫沟槽的研究进展,分析了几种新型抛光垫表面沟槽对抛光效果的影响,为化学机械抛光用的抛光垫表面沟槽特性的深入研究与分析提供参考。 相似文献
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本文针对管道内防腐现场补口的难题,提出对钢管两端头预先进行袁面防腐处理,利用不同材料进行结构的复合,一改传统复合材料有明显界面以及由此带来一系列负面影响的弊端,充分发挥材料的不同性能,实现内防腐现场补口的目的。文章详细介绍了在钢材表面高温渗较活跃的金属如铝等,在钢材表面形成一层小于1mm的合金层,现场焊接采用专用焊条进行焊接,从而在焊口处和管端头形成一致的合金层,达到防腐补口的目的。 相似文献
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本文的主要目的是研究注塑模具钢自动研磨与球面抛光加工工序的可能性。目前,此项研究已经完成了磨削刀架的设计与制造。对于PDS5注塑模具钢的最佳球面研磨参数而言,其是以下因素的一系列的组合:研磨材料的磨料为粉红氧化铝,进给量500毫米/分钟,磨削深度20微米,磨削转速为18000RPM。如果用优化的参数进行表面研磨,表面粗糙度Ra值可由大约1.60微米改善至0.35微米。而用球抛光工艺和参数优化抛光,则可以进一步改善表面粗糙度Ra值从0.343微米至0.06微米左右。在模具内部曲面的测试部分中,用最佳参数的表面研磨、抛光,曲面表面粗糙度就可以提高约2.15微米到0 0.07微米。 相似文献
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