MEMS技术的现状与应用

微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术，它把信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到新的高度。近年来，对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究已被越来越多的人所重视。介绍了MEMS的特点、特征、技术发展趋势，MEMS器件的类型及其功能，并以多层弯曲磁芯结构微执行器为例介绍了磁驱动微执行器工作原理与制作工艺过程。     

微机电系统性能检测的分析与研究

微机电系统是一种集微电子电路和微机械致动器的微小器件，微传感器的性能检测可通过对系统输入量和输出量的检测，选择合适的测试仪器和测试方法来实现，根据角频率的推导，采用频率响应方法，其结果比通过传递函数数值分析得到的谐振角频率精确得多。     

微机电系统性能检测的分析与研究

微机电系统是一种集微电子电路和微机械致动器的微小器件,微传感器的性能检测可通过对系统输入量和输出量的检测,选择合适的测试仪器和测试方法来实现.根据角频率的推导,采用频率响应方法,其结果比通过传递函数数值分析得到的谐振角频率精确得多.     

微机电系统（MEMS）技术及其应用

微机电系统是一个新兴的技术领域。阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势。     

谈谈如何改进《微机电系统》课程的教学方法

分析了《微机电系统》课程的特点,提出了对其教学内容、方法和手段等方面的改进建议,以提高《微机电系统》课程的教学质量.     

我校微机电系统与纳米技术系列课程建设探索

我校于2009年对本科生和研究生的培养方案和课程标准进行了重新修订,以此为契机,我校的微机电系统与纳米技术系列课程体系与内容也进行了重新规划与建设,本文对此作了简单的总结、回顾与思考。在对比分析并借鉴参考国内外名校相关领域对本系列课程设置的基础上,介绍了我校新的微机电系统与纳米技术系列课程的体系建设、内容建设、课程实验及条件建设。     

非硅MEMS技术及其应用

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Dystems 微机电系统)是集微结构、微传染器、微执行器和微电控为一体的机电系统,是一个多学科交叉的高新技术领域.     

电磁型微马达获国家技术发明进步奖二等奖

微电子机械系统(Micro electronic mechanieal system)简称 MEMS,是80年代末发展起来的新型学科,备受发达国家政府和学者的重视,纷纷投入巨资进行开发和研究。微电子机械系统的应用前景十分广阔,遍及国民经济各个领域(如国防军工、航空航天、微型机器人、生物医疗及自动控制等多种学科)。特别是在生物医疗工程和国防军工中的应用前景尤为诱人。不少专家认为在下世纪初有望成为这些领域中国民经济新的增长点,具有巨大的潜在市场。     

微机电陀螺速率传感器传输特性分析

在微机电系统结构复杂化、微机电系统专业涉及面大范围化的大趋势下,如何利用企业微机电系统技术队伍来提高陀螺速率传感器的传输效率,如何在保证系统运行质量、系统建设成本的前提下提高陀螺速率传感器的传输效率,已经成为了我国目前每一个企业微机电系统技术队伍都需要考虑的问题了.本文将就微机电系统建设中的陀螺速率传感器的特性作进一步的探讨.     

交叉学科研究生课程教学的探索与实践

交叉学科是目前科学研究的热点领域,开展交叉学科课程教学对于强化研究生的学科交叉意识,提高研究生的创新能力具有重要作用。以"微机电系统分析与设计"课程为例,分析了交叉学科研究生课程的特点,并从基础知识教学、前沿专题研讨和实践能力强化三个方面进行了教学方法的探索与实践。     

Ultrasonic Linear Motor with Anisotropic Composite

Amicroactuator,whichisthecorepieceinmicro electro mechanicalsystem(MEMS) ,hasbeenattachedgreatimportanceandappliedwidelyinvariousfields .Becauseofitssuperperformances ,theultrasonicmotorhasbecomeoneofthemostprosperousmotionsources .Theultrasonicmotorisanewtypeofmicroactuatorwhichbreakstheconventionalcon ceptionofelectromagneticmotoranddependsuponthecon versepiezoelectriceffectofthepiezoelectricceramicandfric tionalcouplingofvibration .　　Makingacomprehensiveviewontheprogressofultra sonicmot…     

一种简易照明暗线探测仪的设计与制作

利用LC谐振放大电路、HC-SR04超声波测距模块、PCF8591A/D模块、LCD12864液晶显示模块,以STC89C52单片机最小系统为框架,设计了一种简易照明暗线探测仪.它通过单片机采集两条暗线的电磁感应信号,利用超声波测距原理进行故障的准确定位.     

微机械电子系统安全器件中的密码机械固化与校验方法

1 Introduction It is well known that the key technology of MEMS(micro-electromechanical systems) security device isthe code mechanical solidification and discri mination.Various mechanisms can be used to i mplement thistechnology,e.g.,linear maze[1,2],peripheral maze[3 ,4],pawl/ratchet wheel and counter meshing gears (CMG)mechanism[5-8].Compared to other mechanisms ,CMGhas many virtues such as si mple structure , i mplicitcode ,and fewer dynamic and frictional problems sincetwo groups of C…     

电磁力测量试验台的设计

从试验台的结构特点和工作流程入手,介绍了其液压系统的工作原理及特点。实践证明:该系统设计合理、工作可靠、调节控制灵活方便。     

Method of analyzing vibration characteristics of armature system of hermetically sealed electromagnetic relay

Published research is minimal on vibration characteristics of hermetically sealed electromagnetic relay (EMR) ex- posed to mechanical environment. The vibration characteristics of armature system, link contact system with electromagnetic system will cause EMR malfunction. The nonlinear dynamics model of armature systems was studied by considering electro- magnetic attraction force and opposite mechanical force in this paper. Angular displacements of armature under different sinu- soidal vibration conditions are solved in order to obtain the failure mode result from armature system. Vibration tests showed the presented analyzing method is suitable for EMR. The conclusions are instructive for increasing vibration resistance of armature systems of EMR, and are significant for reliability design of switch apparatus.     

一种基于MEMS倾角测量仪的设计与验证

在MEMS传感器的基础上设计并制作了具有大量程、高精度的倾角仪.测量单元采用3个正交的MEMS加速度传感器,在保证测量精度的同时加大了倾角的测量范围.硬件设计分别采用线性电源、高频控制芯片及高分辨率模数转换芯片实现倾角仪的小型化.对倾角仪测量时的测量误差通过建模提出了多位置标定补偿技术、分段式温度补偿技术及现场快速标定...     

MEMS陀螺数字闭环驱动控制设计与实现(英文)

为了有效控制陀螺驱动模态的工作状态,从原理上分析了微机械陀螺的驱动特性,提出了一个新型的微机械陀螺闭环驱动数字控制电路,即采用数字锁相环和自动增益控制方法分别控制驱动频率和振荡幅度.设计了带有现场可编程门阵列的数字处理电路,并进行了实验.结果表明:当温度变化时,驱动频率能够自动跟踪陀螺驱动模态的谐振频率,并且振荡幅值始终保持在设定值.在常温下驱动频率相对偏差为0.624×10-6,振荡幅值相对偏差为8.0×10-6,分别是模拟控制方案的0.094%和18.39%.因此,基于数字锁相环和自动增益控制的频率和幅值闭环驱动控制方案是可行的.     

电磁场与微波技术课程形象化教学方法探讨

该文介绍了在电磁场与微波技术课程教学过程中采用的几种形象化教学方法，通过这些做法扩充了学生的感性认识，使抽象的理论课教学生动形象化，增加了学生们的学习兴趣和信心，教学效果明显。     

基于MEMS的姿态检测仪的设计与实现

为了在飞行器的惯性测量系统、工程钻孔轨迹检测等方面更高效测量载体姿态参数,设计了一款操作简单、可实时输出被测物体三轴姿态角的姿态检测仪,给出了系统的软、硬件设计,并对检测仪进行了误差分析.分析结果表明在测试量程范围内,仪器具有较好的线性度、响应较快且重复性较好.     

数字化医院检验信息系统(LIS)设计与应用

为针对中国医大一院检验科实际业务情况,基于cache数据库与面向对象的开发技术,开发设计数字化医院检验信息系统。实现检验信息系统在我院检验科室全面使用,覆盖全部检验业务流程,检验信息系统(LIS)的使用可加速医院全面数字化的步伐,提高医院整体的运行效率,有利于医院将有限的医疗资源发挥最大的社会效益。