Silvaco TCAD仿真在《微电子工艺》实验教学中的应用

为支撑微电子工艺实验课程建设,采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件,加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工艺的直观理解,搭建了从网格建设、工艺仿真、PN结分析到NMOS器件全工艺流程设计的系统化仿真实例,让学生在熟悉半导体器件基本结构、载流子参数等性能的同时,深刻理解微电子器件的工艺过程。软件仿真直观的图形展现,既可加深学生课程知识理解,又能提升实践能力,为应用型人才的培养提供坚实基础。     

TCAD技术在微电子实验教学体系中的应用与研究

针对传统微电子专业实验设备昂贵、实验周期长、效果不理想等缺点,提出了一种通过半导体工艺和器件的计算机辅助技术(TCAD)进行虚拟实验教学的方法。该方法速度快,可以在实验前后和过程中,直接观察材料和器件的形貌和内外参数,是对理论课程的实践和扩充。介绍了合理安排实验规划方案和解决实施中遇到问题的思路。     

《微电子工艺原理》课程的教学改进

微电子工艺原理是微电子技术专业的一门核心课程。该课程具有知识面宽、理论与实践并重、应用性强的特点,采用传统教学模式不可避免地存在诸多弊端,作者经过多年教学实践,从教学内容、教学方法和考核方式等多方面提出了改进措施,提高了课程质量和学生专业素质。     

“微电子工艺”课堂教学方法的改革

笔者从几年的"微电子工艺"教学实践中提出了7点关于课堂教学改革方法:布置思考问题,引导学生预习;板书与多媒体教学相结合;现场小实验和实物展示;播放实地拍摄的录像;理论计算与工艺模拟相结合;专题讨论以及安排综合训练任务。通过一系列的改革措施,学生对这门课程从理论到实践都具有比较深刻的认识。     

微电子教学实验室建设的探索与实践

为适应微电子产业的高速发展,高校的微电子实验室建设及实验教学对专业人才的培养发挥着极其重要的作用。微电子实验室建设主要包括微电子设计实验室和微电子工艺实验室。实验教学开设了集成电路设计综合实验和微电子工艺综合实验。学生在此完成集成电路芯片设计、制造的整个过程,并对制造的芯片进行测试和分析。微电子实验室的建设提供了优质的教学平台,将理论与实践结合、创新与实践结合,培养了学生分析问题、解决问题的能力。     

理论联系实际,学好《微电子器件工艺》

在开设<微电子器件工艺>课程的同时,开设微电子器件工艺实习,利用这个有利条件,在教学过程中,应当将工艺实习与<微电子器件工艺>结合起来,理论联系实际,提出问题,解决问题,提高学生的理论水平与实际动手能力.     

利用微电子测试图形监控CCD工艺

本文根据硅CCD摄像器件的特点和要求,设计出一套可用来监控硅CCD工艺的测试图形,并把此套图形应用于实际的CCD工艺。实验分析其它工艺参数的同时,重点对存贮时间Tc和界面态密度Nss进行了研究。认为工艺过程引起存贮时间的下降,是由于工艺诱生位错的影响,而工艺诱生位错主要由多晶硅层上二次栅氧化的界面应力所导致;认为界面态密度主要取决于栅氧化和退火工艺,与中间工序的关系不明显。整个实验表明,用微电子测试图形监控CCD工艺、分析器件失效,是可行可靠的。     

微电子机械系统（MEMS）技术及其应用

本阐述微电子机械系统技术特点、加工工艺、发展前景及其国内外发展的动态，微电子机械技术在环境科学和生物医疗上的应用。     

微电子技术课程设置与改革初探

微电子技术的发展对培养电子技术方面的人才提出了新的要求,电子学专业应开设微电子技术课程。探究了学科定位、培养目标、课程体系及教学改革思路。     

微电子技术专业教学改革探讨

微电子技术是电子、电气类等工科专业的一门重要的专业基础课。作者在调研该课程现状的基础上,探讨了增强教学效果的几种方法。     

运用混合式立体化教学模式培养应用型创新人才——《微电子工艺》课程教学的改革与实践

文章以培养应用型创新人才为目标,在探讨了当前《微电子工艺》课程教学中存在的问题与难点的基础上,以松绑教育与整合教学两种理论为指导,提出了"混合式立体化"教学模式,并进行了相应的教学实践及探索,最后对其实践效果进行了调查分析。该模式的运用对全面改革《工艺》课程教学有着重要的理论与实践意义。     

微电子专业中模拟领域课程群的CDIO教学建设

微电子模拟领域课程群主要包括模拟/射频/混合信号集成电路设计、模拟集成电路版图设计、模拟EDA设计等数门专业课程,是设计方向课程中的核心部分。本文基于CDIO教学模式,对现有课程群存在的问题进行分析,从教学、项目制内容等方面进行研究。旨在以项目制为中心的模拟课程群中,激发学生主观能动性,加强理论与实践之间的联系,最终提高学生分析、查找、解决工程问题的综合能力。     

微电子材料与器件课程教学模式探讨与思考

微电子材料与器件是一门专业性和应用性较强的课程,如何更好地教授本课程,让学生更容易地掌握课程相关知识,通过分析课程教学实践中存在的问题,提出课程内容、教学模式和考核方式改进的建议。     

微电子学科基础课程思政教学实践

为了将课程思政融入专业基础课程教学的各个环节,从而达到高校立德树人要求,文章首先对微电子学科基础课程进行了概述,然后从明确教学内容及教学目标、改革课程教学模式、完善课程考核评价体系三方面论述了微电子学科基础课程思政教学实施.     

技校《机械制造工艺基础》课程教学探讨

技校<机械制造工艺基础>课程教学要想取得成效应注意认真上好第一堂课;课堂教学要直观形象;授课语言应力求准确规范;须重视教师主导,积极评价,促进师生互动;还要注重相关知识的补充说明;并应做到理论联系实际,适当安排现场教学.     

高职院校微电子专业基础课程教学探索

微电子技术专业一般属于本科专业,专业课程理论性较强。在高职院校中开设此专业,教材的选择和课程的教授有一定的难度。本文介绍了在高职院校中开设微电子专业基础课的一些经验。     

信息技术在微电子专业教学中的应用

信息技术包括多媒体技术、虚拟仿真技术、网络技术．等等。它的飞速发展和广泛普及,使得传统的教学方法正在向现代教育技术方法转变。针对新兴的多学科综合的微电子专业．作者讨论了信息技术在微电子专业教学中的作用与意义．联系实际教学实践,指出了各种信息技术的特点及应用中需注意的关键问题。     

高校非微电子专业集成电路设计技术课程实践

分析我国对集成电路设计人才的需求情况和培养现状,提出在高校非微电子专业开设集成电路设计技术课程的思路和原则,并论述根据信息工程大学具体实际开设的相关课程的理论讲授、实验操作和考核方式的实践。     

微电子技术教学改革的研究

在长期课程教学、科学研究、发展跟踪的基础上,本文介绍了就相关课程教材与内容改革所作的探索与思考,目的是让学生通过课程学习,更清晰地理解微电子基础原理及基本技术,使其适应微电子技术不断发展,具备自主学习、研究与创新的能力.