MEMS薄膜平均应力梯度在线测量方法

结构层淀积是MEMS加工过程中的重要工艺步骤,淀积薄膜的应力梯度是影响MEMS器件性能的一个重要的力学参数．文中介绍了几种常见的平均应力梯度在线测量方法,阐明了其测试结构及测量原理,并对这些测量方法进行了比较．     

对梯度表达式的新理解

现行教材对梯度的讲授都是从方向导数来导出和说明的,梯度表达式本身表达了什么含义,一般教材中大多缺乏直接的说明。本文从函数全微分出发,分析了梯度表达式的含义,说明其为什么代表了函数变化最大的方向和变化率,为梯度的讲授设计了一种不同于常规教材的方法,简明易懂,也有助于加深对梯度的理解。     

非金属薄膜生产线计算机测控系统研究和应用

在非金属薄膜生产中,对薄膜厚度的在线实时检测具有非常重要的意义.本文是针对非金属薄膜生产线测控系统的研究,传感器选用红外传感器,采用PLC控制系统,上位机操作界面采用了可视化效果好、方便易学的软件Visual Basic进行了系统界面的开发.     

NiTi薄膜残余应力测试方法的探讨

介绍了适用薄膜残余应力测量的弯曲法和X射线掠射法,重点介绍了一种新型测量薄膜残余应力的方法—纳米压痕法,并采用非球形压头纳米压痕法测量了NiTi薄膜的残余应力,对薄膜残余应力的测量进行了有益的探讨和尝试,结果表明纳米压痕技术可作为定性测量薄膜残余应力的有效手段。     

柔性透明导电ZnO基薄膜的制备及其发展前景

随着电子器件向小型化和轻便化方向发展,柔性衬底的透明导电薄膜将成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品,柔性透明导电薄膜ZnO具有优异的光电性能且资源丰富、成本低、对环境无污染,成为当前的研究热点.总结了近年来对柔性衬底材料处理的方法,分析了柔性透明导电薄膜的研究历史和现状.综述了柔性透明导电ZnO膜的主要制备技术及其优缺点,阐述了当前该领域的最新研究成果及应用,并讨论了工业应用对柔性透明导电膜的性能要求及其未来发展趋势.     

梯度及应用

梯度是多元函数变化率最大的方向,由此引出了梯度场,物理学中的等势面等,由此概念而引出具有广泛的相关应用.     

CoSiN薄膜的制备

文章采用磁控溅射的方法在n型硅基底上制备了CoN和SiN薄膜,再用薄膜测厚仪和四探针测试仪(EPP)测出样品的厚度及方块电阻,得到制备CoN和SiN薄膜的优化条件,然后由CoN和SiN薄膜制备出CoSiN薄膜.     

CoSiN薄膜的制备

文章采用磁控溅射的方法在n型硅基底上制备了CoN和SiN薄膜,再用薄膜测厚仪和四探针测试仪(EPP)测出样品的厚度及方块电阻,得到制备CoN和SiN薄膜的优化条件,然后由CoN和SiN薄膜制备出CoSiN薄膜。     

磁控溅射制备MoS_2/C复合薄膜及其结构表征

采用单靶与双靶磁控共溅射技术,在非晶态石英玻璃基底上分别沉积生长了MoS_2薄膜及MoS_2/C复合薄膜.利用X射线衍射、拉曼光谱检测技术对MoS_2薄膜和MoS_2/C复合薄膜材料的结构进行表征,探讨了退火处理前后薄膜结构的变化.结果表明,通过脉冲和射频双靶共溅射制备的MoS_2/C复合薄膜,碳原子对二硫化钼的空隙进行了填充,经过400℃真空退火20分钟,获得了结晶度较好的MoS_2/C复合薄膜材料.     

以科研相融合的《薄膜技术与薄膜材料》课程实践教学改革初探

薄膜技术与薄膜材料已成为构筑当今高新技术产业发展的基本要素,薄膜技术与薄膜材料课程是材料科学与工程、应用物理等专业的一门重要专业课程。本文分析了该课程现行实践教学中的不足,对科研与实践教学相结合的教学内容、教学形式进行了阐述和讨论。     

伊辛薄膜的Monte—Carlo计算

应用Ｍｏｎｔｅ－Ｃａｒｌｏ方法模拟了伊辛薄膜，得到了薄膜的表面磁性，体磁性以及系统的磁化率与温度的关系曲线。根据模拟结果发现在大块材料的临界温度附近磁化率存在一有限峰；并且在系统温度大于大块材料的体监界温度时，进一步跟踪研究了薄膜上，下表面的磁化强度，由此讨论了其它文献中利用有效场理论处理薄膜的一些争议的问题。     

溅射功率对掺镁氧化锌薄膜结构及厚度的影响

采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备掺镁氧化锌薄膜,利用SEM(扫描电镜)、XRD(X射线衍射)和椭偏仪等设备研究薄膜的表面形貌、成分、结构和厚度.结果表明,溅射功率没有对薄膜的生长方向产生较大影响,当溅射功率在40 W到100 W之间变化时,随着溅射功率的增大薄膜的结晶状况变好,晶粒尺寸变大,薄膜的厚度增加.     

导电聚苯胺薄膜的电磁学性能及其屏蔽特性

利用四探针测试法分析了导电聚苯胺(PANI-CSA)薄膜的电导率及其屏蔽特性,发现随着薄膜的厚度从4～40μm变化,导电聚苯胺薄膜的室温电导率在12～25S/cm范围内变化.并测试和分析了导电聚苯胺薄膜的屏蔽特性与薄膜厚度的关系,得到了导电聚合物PANI-CSA薄膜的电磁屏蔽效能在一定厚度范围内与理论值是一致的结论.     

基于椭圆偏振法的薄膜厚度测量

选用Si3N4薄膜和ZrO薄膜两种光学材料作为测试对象以研究椭圆偏振法测量薄膜厚度的精度。实验结果表明,椭圆偏振法的精度较高,但对于数量级在几十个nm的光学薄膜,误差相对较大。该实验为进一步调试和改进测试平台,对单一材料多层膜和不同材料多层膜等更加复杂的膜系进行研究提供了参考。     

非晶硅薄膜和结晶硅薄膜的拉曼光谱

以玻璃为衬底,利用等离子体增强化学气相沉积工艺制备了非晶硅(α-Si)薄膜,然后通过准分子激光晶化方式获得结晶硅(nc-Si)薄膜,采用激光显微拉曼光谱仪对非晶硅薄膜、结晶硅薄膜这两类薄膜的拉曼光谱效应和结晶质量等进行了定量分析。结果表明:当激光功率达到某一阈值时,非晶硅样品发生了晶化,即由非晶硅转化成了结晶硅,特征峰发生了46.8 cm-1的位移,薄膜的结晶性质发生根本变化。而结晶硅样品在激光功率变化过程中仅因能量积聚造成了薄膜内应力变化,激光能量消散后内应力恢复原来的状态,特征峰在±5.4 cm~(-1)位移内波动,薄膜的结晶性质并未发生明显变化,表明薄膜处于稳定的晶态结构。     

硬质薄膜研究综述

论述了硬质薄膜的发展历史,分析了近年来硬质薄膜的发展现状;叙述了合成硬质薄膜的几种方法,并对各种方法的优缺点进行了对比分析。指出类金刚石薄膜、纳米复合硬质薄膜等依然是今后一段时期的研究热点。     

共溅射法金属掺杂透明导电ITO薄膜的研究进展

论述了磁控共溅射法在透明导电ITO薄膜中掺杂其他的金属材料的重要性,综述了采用该方法在ITO薄膜上掺杂Zn、Ag、Mn等金属材料后,薄膜光谱透射率的变化,并且对掺杂之后ITO薄膜的结晶情况、微观机理的变化、导电性能与光谱透射特性的内在联系进行归纳总结。     

介质中的自聚焦

利用无象差自聚焦模型将梯度折射率非线性Kerr介质等效为梯度折射率线性介质,得到了高斯光束在梯度折射率Kerr介质中传输时光斑半径和波面曲率半径的表达式,进而讨论了高斯光束的自聚焦特性。结果表明：高斯光束在梯度折射率Kerr介质中崩塌与否取决于衍射效应与非线性效应和梯度折射率效应之间的竞争。梯度折射率效应使自聚焦距离缩短。     

醋酸纤维素薄膜血清蛋白电泳透明技巧

醋酸纤维素薄膜血清蛋白电泳是临床检验的重要方法 ,对某些疾病的诊断有一定的帮助 ,对其透明最常用的方法是冰醋酸与 95 %的乙醇按 1:3的比例配制 ,按此比例效果常不令人满意 ,以致薄膜透明后 ,蛋白质各区带不清楚 ,很难辨认 ,为满足教学、科研及临床检验的需要 ,本文根据多年实践经验 ,对薄膜透明配方进行改进 ,取得了理想的效果。1　材料和方法(1)材料为脱色后的醋酸纤维素薄膜。(2 )试剂的配制。冰醋酸与 95 %的乙醇按 3∶ 7的比例配成液体 ,摇匀备用。(3)透明步骤。透明用的载玻片预先用冰醋酸洗擦晾干备用。将脱色薄膜完全干燥后 ,放…     

语文教学梯度探讨

语文教学要有效,必须解决好教学梯度问题.语文教学梯度的设计与实施要讲究策略,如增长极策略、“点——轴”扩散、网络开发策略等,还必须克服梯度粘性.