碳化硅晶体生长和加工技术研发及产业化

正推荐单位:中国科学院物理研究所完成单位:中国科学院物理研究所合作单位:北京天科合达半导体股份有限公司成果简介碳化硅(Si C)晶体是一种性能优异的宽禁带半导体材料,在发光器件、电力电子器件、射频微波器件制备等领域具有广泛的应用。但其晶体生长极其困难,只有少数发达国家掌握Si C晶体生长和加工技术。Si C晶体国产化,对避免我国宽禁带半导体产业被"卡脖子"至关重要。团队自1999年以来,立足自主研发,从基础研究到应用研究,突破了生长设备到高质量SiC晶体生长和加工等关键技术,     

碳化硅晶体中硼含量的SIMS定量分析方法研究

采用SIMS相对灵敏度因子法,对碳化硅中硼含量的定量分析方法进行了系统的研究。通过对离子注入的参考样品进行SIMS深度剖析测得RSF值,实现了碳化硅中硼杂质含量的精确定量检测。碳化硅中硼的检测限可达到1e14atoms/cm3。     

碳化硅纳米材料研究进展

本文对近年来SiC纳米材料的制备方法和应用情况进行了综述。虽然SiC纳米材料制备规模小、成本高、工序复杂,近期难以实现大规模生产,但SiC纳米材料性能优于传统的SiC材料,能够达到高新技术领域的严格要求,具有更为广泛的用途,为此,应进一步加大对SiC纳米材料的研究。     

碳化硅领导二次电子革命

<正>随着生产工艺提高以及价格的下降,碳化硅晶片正有可能全面替代硅,而成为今后半导体产业的首选。俄亥俄州克里夫兰,美国宇航局格林研究中心的实验室里,圆形的发热器上摆放着一枚芯片。它很小,只有5毫米见方。灯光暗下来,电源接通,发热器底部的电阻逐渐将紧贴着的芯片加热。随着温度升高,电阻丝和芯片同时放射出半透明的红光,在黑暗的屋子里很是显眼。数据显示此时芯     

加强基础研究 促进高技术产业化——从我校人工晶体研究谈起

山东大学经过30年的艰苦工作,在晶体材料领域中坚持抓好基础研究(包括应用基础研究),不断探索,刻意创新,先后研制成功近百种功能晶体材料,大部分具有当时国际或国内先进水平。同时,还十分重视科研成果的转化——向高技术产品转化,取得了较大效益,并培养了一批高级研究人才。目前,在该领域已形成研究基地(创办晶体材料研究所研究机构)、人才培养基地(招收硕士生和博士生)、学科建设基地(列为国家重点学科)、基础性研究装备基地(第一批国家重点开放实验室)和高技术产品开发基地(建立了中晶开发公司)相结合的五位一体的良好发展格局。仅国家科学基金项目我校晶体所已获近20项资助(其中重大基金课题3项),经费达100多万元,为五位一体结构的稳定奠定了基础,并促进了我校科研工作的开展。     

碳化硅功率器件及应用

碳化硅(Si C)作为第三代半导体材料的典型代表,具有宽带隙、高饱和飘逸速度、高临界击穿电场等优点,在高温、高频、大功率应用方面有很大的优势。本文简要介绍了Si C材料的特点、制备及其在功率器件方面的应用。     

晶体

在日常生活里,我们有时遇到“晶体”这东西,究竟“晶体”是什么东西呢?现在我们就来讨论一下。 (一)晶体是什么? 我们知道自然界里的物质都是由98种元素的原子所构成的,而以气体、液体和固体三种不同的形态呈现在我们的面前。气体.液体和固体,这三种物态各有它的物理特性。像气体有大压缩性,液体的形状随容器而变,它们为什么有这些物理特性表现出来呢?这是因为组成它们的分子或原子间的距离不一样的缘放。距离不同,分子或原子相互间的吸引力就不一样,距离愈大,吸引力反而愈小。气体分子相互远离,每一个分子均可自由行动,     

人造光子晶体与自然光子晶体

结合人造光子晶体和自然光子晶体的特性,论述了人造光子晶体在科学技术领域的作用与意义,同时论述了自然光子晶体在人类了解和利用自然界方面的作用与意义。     

反渗透在碳化硅水洗微粉中的应用

本文分析了反渗透在碳化硅水洗微粉中的应用,目前纯水制备技术有蒸馏水法,离子交换法,反渗透法等,在此对几种方法及工艺特点进行比较。     

简析碳化硅在半导体行业中的发展潜力

半导体行业是碳化硅材料发展潜力最大和产业附加值最高的应用方向。本文分析碳化硅产业发展现状和趋势,总结行业前景和市场。初步确定其有望成为我国在半导体行业实现跨越发展的重要技术方向。     

天外飞来准晶体

2011年诺贝尔化学奖授予了准晶体的发现者—以色列科学家谢西曼,他于1982年首次在实验室中合成出了准晶体（我刊2011年12期诺奖专题有介绍）。正常的晶体中,原子或分子的排列形式是立方体、六边形或其他规则的、可无缝拼合的模式。而准晶体的结构很特殊,     

奇妙的晶体

若你手里有一块宝石需要雕琢切割.最好找有经验的珠宝商来完成,因为没有经验的人对它切割,它往往就会以崩解破碎来对抗.为何?并不是珠宝欺负人,而是一般人对珠宝不了解,宝石水晶之类的矿石有自己的组成纹理和方向,对它切割之前,首先要找对它的纹理方向,就像劈木柴也要顺着木柴的纹理方向,才容易把木柴劈开一样.