一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法

本文介绍了一种MEMS芯片的压力传感器的标定和补偿方法,分析了传感器的结构原理和常见补偿方式,详述了采用的标定和补偿方法,并通过实验进行了验证,证明该方法是一种简便有效的方法,能够被广泛使用。