DBS微乳液法合成SnO2微粉及其气敏性能

采用十二烷基苯磺酸钠(简称DBS)微乳液法合成SnO2 微粉，并对SnO2微粉进行气敏性能的测试。结果表明，用DBS微乳液法合成的SnO2微粉，对SnO2气敏元件的性能有较大影响。     

Pt掺杂对Sb：SnO2薄膜酒敏性能的影响

采用非醇盐溶胶-凝胶工艺在Al2O3基片上旋转涂敷制得掺Sb的SnO2薄膜。再经直流溅射制得掺Pt的Sb：SnO2薄膜,探讨了不同Pt添加量对气敏性能的影响。结果表明,对Pt的溅射时间为90s时,元件对50ppm浓度乙醇气体的灵敏度高达43。经选择性研究表明,该元件有较好的选择性和优异的酒敏特性。     

1mol%TiO2—SnO2薄膜的溶胶—凝胶制备及其气敏特性

以无机盐SnCl2·2H2O为主体原料,以（C4H9O）4Ti为掺杂剂,无水乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺制备了TiO2掺杂的SnO2薄膜。采用差热-失重（DTA－TG）及X射线衍射（XRD）等分析手段研究了1mol％TiO2－SnO2薄膜的热分解晶化过程及物相组成。发现1mol％TiO2－SnO2薄膜在常温下对NOx气体具有较好的气敏性能,并可以在不同的工作温度下检测低浓度的NOx及H2S气体。本文还讨论了1mol％TiO2－SnO2薄膜对NOx及H2S的气敏机理。     

常温型CuBr基NH3传感器的研究

本文以乙醚作为溶剂兼作保护剂,通过铜盐与金属铜的化学反应制备了溴化物亚铜气敏材料,并用X-射线衍射对所合成样品粉末的晶体结构和尺寸形貌进行了表征;用静态配气法测试了其气敏性能.结果显示用该法所合成的样品为立方型溴化亚铜,其粒径约为1μm.气敏测试结果表明,该元件在常温下对氨气具有较高的灵敏度,检测限可达5ppm氨气灵敏度与浓度呈较好的双对数线性关系,且具有较好的选择性,对乙醇、异丁烷、三乙醇胺、一氧化碳等均不敏感.     

烧结工艺对SnO2纳米湿敏材料电性能的影响

采用共沉淀法制备出SnO2-LiZnVO4系纳米粉体，考察了烧结工艺对材料湿敏特性和电容特性的影响。实验结果表明，适当的烧结工艺是得到最佳湿敏性能试样的的重要条件。     

WO_3微/纳米结构的合成及气敏性能表征

以钨酸钠为钨源,用草酸做辅助剂,在90℃水浴中通过简单的液相沉淀法一步合成了由纳米片组装的近球形结构的WO3.通过XRD、SEM对WO3微纳米结构、尺寸形貌等进行了表征,并利用WS-30A气敏测试系统对产物的气敏性能进行了表征.结果表明:所制备出的近球形WO3微纳米结构粉体具有良好的结晶度,并且对冰乙酸、乙醇、甲苯及甲醛表现出一定的灵敏度,其中对冰乙酸的灵敏度最高.     

热解法合成P（AM-co-MAA）/SnO_2有机-无机复合微球的研究

采用反相悬浮聚合法合成了聚丙烯酰胺-甲基丙烯酸（P（AM-co-MAA））微凝胶,并以其作为模板,通过热解法制备了一系列微米级、表面具有特异结构的P（AM-co-MAA）/SnO2有机-无机复合微球材料.详细考察了反应时间、SnCl4的浓度和热解温度等因素对复合微球的形貌结构的影响.通过SEM,XRD,FT-IR,TG等手段来表征复合微球的结构、形貌、含量.微球上沉积的SnO2层随着SnCl4的浓度增大而加厚.采用模板法制备复合材料具有操作过程简单、反应条件温和等特点,因此,可将此方法可进一步拓展到其他有机-无机复合材料的制备中.     

掺杂态聚苯胺的模板法合成及气敏性探研

分别以直径约为0.2 mm的细铜丝和直径约为1mm的细铜丝环为模板,制得了不同微观结构、不同酸掺杂的聚苯胺材料,用红外光谱和扫描电镜对其进行了表征,讨论了不同酸掺杂和不同形态模板对聚合产物气敏性的影响.常温下,通过聚苯胺的气敏性能测试,以多酸掺杂细铜丝环为模板合成的聚苯胺的气敏性能更好,其中以H6P2Mo18O62掺杂合成的聚苯胺微米球对100 ppm NH3的灵敏度最高,响应时间最短.最后初步探讨了聚苯胺的气敏机理.     

基于MEMS工艺的悬臂共面式气体传感器性能分析(英文)

为了简化制作工艺,使温度分布均匀以及降低功耗,设计了一种基于MEMS制造工艺的悬臂共面式SnO2气体传感器.使用有限元法对这种传感器及膜结构堆积于硅基底上的封闭膜式气体传感器进行了稳态热分析,结果表明悬臂共面式传感器拥有更均匀的温度分布和更低的功耗.当最高温度为383℃时功耗仅为7mW,敏感薄膜上的温差低于14℃.为解决悬臂易碎的问题,提出了一种新的制造工艺,该过程在正面刻蚀SiO2层形成悬臂结构前沉积SnO2敏感薄膜,并采用深反应离子刻蚀的方法对硅基底进行体刻以避免湿法刻蚀对传感器表面的化学污染.整个过程总共需要4块掩模板.采用旋涂法溶胶凝胶法将掺有Fe离子的SnO2薄膜沉积于基底上作为敏感元件.该器件对氢气表现出了良好的气敏性能,随着氢气浓度从50×10-6上升到2000×10-6,灵敏度逐渐提高,在2000×10-6时的灵敏度为30.     

不同形貌ZnO的制备及其气敏性能研究

采用水热法通过控制反应的温度、时间、溶剂及表面活性剂等制备了四种不同形貌的纤锌矿ZnO材料。将合成的材料制备成半导体气敏元件,并对其气敏性能进行研究。结果表明：四种不同形貌ZnO材料的气敏性能有较大的差异。其中ZnO(c)小颗粒的气敏性能要高于其他三种形貌,对50 ppm乙醇及丙酮的灵敏度较高,响应值分别为14.1和9,是其他形貌ZnO灵敏度的2倍以上。ZnO(c)颗粒相较于ZnO(a)微米花具有较长的响应和恢复时间。ZnO(a, c)对乙醇及丙酮均具有较好的长期稳定性,63天后的灵敏度值基本不变。