基于有限元分析的纳米级微进给平台设计

设计了一种利用弹性铰链作为预紧机构、高精度滚动导轨作为导向机构的单PZT驱动的微进给平台。利用有限元方法对微进给平台的结构和静、动态特性进行了研究。在静态特性中着重分析了微进给平台的静态刚度,得出整个动平台的工作平面上的刚度分布图。在动态特性分析中着重研究了微进给平台的模态振型、固有频率和谐波激励响应,得出了激进给平台在动态激振力作用下的特性。最后分析了微进给平台工作平面上静态刚度和动态刚度变化很大的原因,并提出一些改进的措施。     

微进给机构的柔性铰链设计与有限元分析

设计一套以音圈电机为驱动电机,柔性铰链为支承元件,碟形弹簧为减震机构的微进给机构.柔性铰链采用双平行四杆机构的结构形式,计算了柔性铰链在音圈电机峰值推力作用下的最大输出位移和最大应力值.通过有限元分析柔性铰链在不同推力作用下的应力、应变图,发现在音圈电机最大推力800 N作用下,柔性铰链的最大应变为224．67μm.分析结果证明,所设计的直圆形双平行四连杆柔性铰链能够满足微进给机构的往复进给行程要求.     

纳米级微进给平台设计与研究

精密微进给平台是实现纳米级定位与加工的关键技术。本介绍了基于PZT的纳米级微进给平台设计与研究的现状,指出下一步的研究方向和需要解决的关键问题即：多作动器驱动的微进给平台的结构设计及其考虑动力学特性的闭环反馈控制算法。     

纳米级微进给平台设计与研究

精密微进给平台是实现纳米级定位与加工的关键技术。本文介绍了基于PZT的纳米级微进给平台设计与研究的现状,指出下一步的研究方向和需要解决的关键问题即多作动器驱动的微进给平台的结构设计及其考虑动力学特性的闭环反馈控制算法。     

超精密磨削微进给工件平台的研制

采用弹性铰链作为预紧机构，采用压电陶瓷作动器作为驱动机构，设计了一种超精密磨削辅助工件平台。具有结构简单、位移分辨率高、动态响应速度快等优点。中通过试验研究了其在开环和闭环控制下的静态和动态特性，结果表明，其中心部位静态刚度达到200N／μm，Z向的固有频率达到1289Hz。     

超精密磨削微进给工件平台的研制

采用弹性铰链作为预紧机构,采用压电陶瓷作动器作为驱动机构,设计了一种超精密磨削辅助工件平台。具有结构简单、位移分辨率高、动态响应速度快等优点。文中通过试验研究了其在开环和闭环控制下的静态和动态特性,结果表明,其中心部位静态刚度达到200N/μm,Z向的固有频率达到1289Hz。     

基于有限元的双轴差速系统实验台模态分析

双轴差速式微量进给伺服系统是基于螺母驱动型滚珠丝杠的新型高精度微量进给系统。首先分别应用吉村允效法、查表法和辨识方法得到各结合部的刚度值,建立各结合部的动力学模型,建立进给系统的有限元模型。然后对进给系统分别进行理论模态分析和模态测试试验,通过对比验证了有限元模型的正确性。模态分析为双轴差速微量进给伺服进给系统的结构设计、动态性能优化和控制策略设计与研究提供了理论依据。