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中国科学院基础科学局 《中国科学院院刊》2003,18(2):100-104,157
纳米结构/薄膜生长及表面动力学问题研究完成单位:物理研究所主要完成人:薛其坤,王恩哥,贾金锋,刘邦贵随着微/光电子器件性能的多样化程度增加和其尺寸不断减小的发展趋势,具有零维、一维和二维尺度的表面纳米结构/薄膜已成为开拓新一代功能器件的研究前沿。在原子水平上研究生长过程中的表面动力学问题,对于生长初期纳米结构的形成和控制直至应用都是极端重要的。然而,尽管人们在理论和实验方面都进行了长期探索,但仍有很多基本问题没有解决。如,在薄膜外延生长中,常常引入表面活性剂来提高薄膜质量,已建立了20多年的经典扩散… 相似文献
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采用磁控溅射(Sputtering)方法在Si(100)上成功生长了Al2O3薄膜,并以此为衬底,实现了ZnO薄膜的低温准外延生长。通过ZnO薄膜的表征。表明,ZnO薄膜能在Al2O3过渡层上沿c轴准外延生长,采用适当的Al2O3过渡层后,其电学性质也有大幅提高。 相似文献
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通过真空热氧化法氧化用电子束蒸发技术沉积于GaN衬底表面的Cu薄膜,制备出了单一相外延的Cu2O薄膜。接着对样品在不同的温度下(400℃到800℃)进行真空热退火处理,详细分析讨论了对薄膜所造成的影响。在低于700 oC的温度下退火,薄膜表面的均方根表面粗造度和禁带宽度都基本保持稳定。而X射线研究揭示了Cu2O薄膜保持着先前沉积的Cu薄膜与GaN衬底之间的外延关系。 相似文献
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为适应高温超导研究的迅速发展 ,国家计委于 1 987年批准在中国科学院物理研究所建立国家超导实验室。 1 988年开始筹建 ,1 991年 4月实验室通过验收 ,列入国家重点实验室系列 ,并正式向国内外开放。 2 0 0 0年在国家计委和科技部验收中被评为优秀国家重点实验室。研究方向 超导体新材料 ,新合成工艺的探索和研究 ,高温超导体物理性质和与高温超导电性机理相关的实验及理论问题研究 ,高温超导薄膜及器件的物理研究及其它相关材料、相关物理问题的交叉学科研究 ,解决超导应用中的关键技术问题 ,推动超导技术向产业部门转移。研究项目 近 5… 相似文献
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以王恩哥和薛其坤为学术带头人的中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室"纳米结构薄膜生长机理和原子尺度控制"研究群体是国家自然科学基金委员会创新研究群体基金的首批资助群体之一.他们在科研工作中做出了令人瞩目的成绩. 相似文献
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中国科学院物理研究所 《中国科学基金》2007,21(2):127-127
近日,中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室SF4研究组及其合作者在薄膜生长动力学研究中取得新进展。他们从实验和理论上研究了Si(111)单晶衬底上Pb薄膜中的厚度变化对原子表面扩散运动的影响,证明了量子尺寸效应对原子表面扩散运动的调制作用。该成果被选作封面图片发表在美国《物理评论快报》(Phys.Rev.Lett.97,266102(2006))上。 相似文献
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我国第一台激光分子束外延设备研制成功 总被引:2,自引:0,他引:2
激光分子束外延是近几年才出现的一种新型高精密制膜技术,它集普通脉冲激光沉积(PLD)的特点和传统分子束外延(MBE)的超高真空精确控制原子尺度外延生长的原位实时监控为一体,不仅可以生长通常的半导体超晶格材料,尤其适于制备多元素、高熔点、复杂层状结构,如超导体、光学晶体、铁电体、压电体、铁磁体以及有机高分子材料等薄膜,同时还能进行其相应的激光与物质相互作用和成膜过程的物理、化学等方面的基础研究。因此,激光分子束外延具有重要的学术意义和广泛的应用前景。 相似文献
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