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本文对一种基于表面微加工技术反射镜的显示系统进行性能分析。显示系统由一个简单的两薄膜结构微镜所组成,该微镜采用表面微加工工艺,即多晶硅的多用途MEMS制造工艺。微镜具有四个静电排斥力驱动单元,微镜可通过该驱动单元进行平移运动,且可以围绕两个轴进行旋转运动。实测数据表明,微镜可在每个轴角实现±2.5的光学扫描。每个驱动单元在2000赫兹,0-200 V的正弦输入电压下操作,致动单元的稳定时间是2.75和3.32毫秒,超调量为阶跃输入为200至0 V和0至200 V的5%和48%。 相似文献
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本文对一种基于表面微加工技术反射镜的显示系统进行性能分析。显示系统由一个简单的两薄膜结构微镜所组成,该微镜采用表面微加工工艺,即多晶硅的多用途MEMS制造工艺。微镜具有四个静电排斥力驱动单元,微镜可通过该驱动单元进行平移运动,且可以围绕两个轴进行旋转运动。实测数据表明,查找表控制法和扫描速度控制法相结合的控制算法被证明是更为实用的,使更复杂的图像显示时不失真,且能有效利用系统内存,减少运算时间。 相似文献
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简要描述了MEMS系统的特点,介绍了基于MEMS技术的惯性器件及导航系统在国外的发展现状及应用情况;接着简单介绍了捷联惯性组合导航系统原理;最后提出GPS—MIMU组合导航方案,对于MEMS惯性传感器在导航系统中的应用提出了相关要求。 相似文献
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随着麦克风阵列在室内声场分析、声场再现、语音通信中的广泛应用,球面谐波分解在阵列信号处理中的地位变得更加重要。针对球面阵列的球面谐波分解是近年发展起来的波束形成新技术,它还可以扩展到线阵和环形阵等其它阵形中。从球面傅里叶变换着手,在球面谐波域内对不同条件下波束形成算法的原理、性能及其在阵列信号处理中可能的应用进行了全面的综述。 相似文献
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在石油勘探工作中应用MEMS传感数据采集技术,可进一步提高勘探数据的精准度。本文从石油勘探系统中的MEMS传感器应用特点入手,分析MEMS传感数据采集的主要技术,并讨论在石油勘探MEMS系统中的硬件设计与软件设计内容,以求有效解决石油勘探过程中的灵敏度低、谐波失真大等问题。 相似文献
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分子量阵列基因分析仪已在科研实验上使用多年,操作员积累了很多使用分子量阵列基因分析仪的经验和技巧,这些实践经验和操作技巧的应用能够有效的提高分子量阵列基因分析仪的使用效率。本文主要探讨了分子量阵列基因分析仪的几个应用,这些操作技巧的应用能使分子量阵列基因分析仪操作更加简单,有效。 相似文献
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MEMS技术是微电子技术的重要发展方向,用于各式先进传感器的研究和制作。本文针对MEMS热电堆红外传感器进行了详细介绍,内容涵盖其基本原理、发展历程、工作原理、制备工艺和执意要应用。 相似文献
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基于MEMS技术的数字检波器的在地震勘探领域的成功应用,彻底摒弃模拟检波器的机电转换装置,真正实现了全数字化采集.数字检波器最核心的技术,在于它的加速度感应头,也称之为微机电系统(MicroElectroMechanical System),即MEMS.本文主要介绍MEMS芯片的工作原理、电路构成,以及SERCEL公司生产的单分量数字检波器DSU1在地震勘探数据采集中的实际应用. 相似文献
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介绍MEMS Thermal Sensor(微电子机械红外传感系统)的基本原理,基于Freescale单片机实现MEMS Thermal Sensor在人感空调上的应用以及具体实现方法。 相似文献
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沉降是大坝、高层建筑的重要安全指标。由于MEMS技术的广泛应用,给出了基于MEMS的沉降观测倾斜仪器的硬件、软件设计。实际应用表明,系统精度高、可靠性高、成本低,满足沉降观测的需要。 相似文献
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研究了微小型化带来MEMS机构一系列的特点,对比分析MEMS机构的机械性能和宏观机构的不同,为MEMS机构的设计和制造提供参考。 相似文献
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针对拉曼光谱检测机理进行了介绍,指出了拉曼光谱的主要特点及其应用领域,并通过对拉曼光谱在细胞检测研究和分子结构检测研究应用分析,指出了拉曼光谱在医学中的应用研究方向,为后期拉曼光谱在医学中的应用研究提供一些参考。 相似文献
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基于麦克风阵列的语音增强算法概述 总被引:1,自引:0,他引:1
麦克风阵列语音增强技术是将阵列信号处理与语音信号处理相结合,利用语音信号的空间相位信息对语音信号进行增强的一种技术。文章介绍了各种基于麦克风阵列的语音增强基本算法,概述了各算法的基本原理,并总结了各算法的特点及其所适用的声学环境特性。 相似文献