光刻机曝光分系统的测较方法研究

光刻机是生产芯片的机器,它将掩模板上的电路图形通过光源(激光或汞灯)的照射,掩模板上透光和不透光的部分就在涂有光刻胶的硅片上形成了电路图形。曝光分系统是光刻机的重要的组成部分,它包括光源(激光或汞灯),反射镜组,中继透镜组,积分棒,耦合透镜组,可变衰减器、快门、能量探测器、能量点传感器、投影物镜。光刻机工作原理和照相机有很多相似之处,但是比照相机要复杂的多。就曝光分系统而言,可变衰器相当于光圈;快门相当于相机的快门;能量探测器相当于相机的测光系统;投影物镜相当于镜头;反射镜组、中继透镜组、积分棒、耦合透镜组相当于相机的取景器。照相机要想拍出好照片必须对镜头进入的光进行控制,同样,曝光分系统要想满足在硅片曝光出电路的需要,必须对光源的照度和剂量、视场大小和中心位置、光源的照明均匀性按照生产指标进行控制,这时候就需要对曝光分系统进行测较。     

《中国分类主题词表》（第二版）评介

《中国分类主题词表》是我国规模最大的一部分类主题一体化词表。本文从规模和性能上对其新旧两个版本进行了测评和比较，分析了新版词表的优点和不足，并提出一些改进建议。     

关于某知名公司新型250W节能灯与金卤灯在工业照明场合中的性价比较及其应用的分析

市场上某知名公司推出了一款新型250W节能灯,并声称该型节能灯可取代目前工厂内大型车间的传统照明灯具.为了了解该节能灯的性能,我们将该250W新型节能灯与目前广泛应用于国内工业照明、在我公司也有很多应用的金卤灯的性能和特点的进行相关分析、比较测试和探讨,并确定其是否在我公司内有推广应用价值.     

教室照度状况分析与对策

1问题的提出 近几年来,为了提高中小学教育质量整体水平,促进教育均衡发展,各地政府投入了大量资金改善办学条件。学校良好的教育教学环境可促进学生的身心健康,提高教学效果。     

办公室LED照明舒适度研究

本文从广义的韦伯·费昔勒定律出发,建立了照明舒适度的数学模型,得到了3种照明光源下的办公室照明舒适与照度关系的数学表达式,为办公室照明设计提供了理论基础。     

DIALux照度设计软件简介

本文通过对近年来照度计算工作的回顾,综述了目前照度计算的主要方法,分析专业照度设计软件在设计工作中运用的可行性,并重点介绍了DIALux软件的优势,提出使用专业照度计算软件对设计工作和图审工作的一些帮助,以及推广的意义。     

Ledong Scratch互动教学平台的应用与研究(十一)——光敏电阻与照度关系研究

提供了基于Ledong Scratch平台研究光敏电阻的阻值和照度关系的教学思路,即"标定实验—科学上的应用—工程上的应用",这是一个完整地使用Ledong板开展STEM教学的思路。并制作了一个简易的照度计,研究光强与距离成平方反比关系这一重要的数学模型,还在工程上研究了液晶显示器照度分布不均的现象。     

三种攀援植物生理生态学特性的研究

通过对城市常用的攀援植物爬山虎、紫藤、常春藤的光合速率、呼吸速率、光饱和点、光补偿点等生理生态指标的研究,结果表明紫藤为典型的阳性植物,适宜应用于阳光充足的垂直立面的垂直绿化;光能利用率较高的爬山虎属阳性植物,但具有一定的耐阴性,不仅适宜应用于光线充足的,也适宜应用于光线较弱的垂直立面的垂直绿化;常春藤为典型的阴性植物,适宜应用于光线较弱的垂直立面的垂直绿化。     

对《中国分类主题词表》修订的特点分析及其建议

本文针对《中国分类主题词表》修订过程首先介绍了修订中的一些具体方法及结构的调整，并对修订后的一些数据特点进行了分析。同时结合作者在实际工作中的经验与体会，对《中国分类主题词表》修订工作提出了若干看法与建议，以期对今后再次修订工作有些启迪与帮助。     

我院86级学生四年大学视力变化研讨

近年来各地学生视力下降情况相当严重,并且有继续发展的趋势,各地虽然开展了许多调查研究,并采取了一些保护视力的措施,但工作重点主要在中小学,对高等学校注意较少.为此,本文报道了我院86级近500名大学生四年学习后的视力下降情况.男生视力下降的人数为58.5%,比入学时增加19.8%,女生视力下降的人数为66.3%,比入学时:增加17.4%,并分析了造成学生视力下降的后天因素,以期唤起人们的注意.