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利用Visual Basic 2010结合OpenGL API,在Windows 7操作系统平台下制作了真空镀膜实验仿真系统。三维虚拟设备模型由3D MAX软件制作,三维模型交互操作通过OpenGL API实现。该软件还可以模拟真空仪器所处的各种运行状态并对操作错误步骤进行处理。构造了薄膜生长的蒙特卡罗理论模型,并利用该模型研究薄膜生长的形貌,对于决定薄膜形貌诸多影响因素也可进行讨论;利用高性能图形处理软件(OpenGL API)成功展示了薄膜成长的分形特征及表面粗糙度表征。该软件有效地实现了镀膜过程及薄膜生长过程,增强了学生对薄膜生长机理的理解,提高了教学质量,培养了学生学习兴趣和增强了学生的实验操作能力。 相似文献
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学生实验真空镀膜机的设计与制作 总被引:2,自引:0,他引:2
随着科学技术的不断发展,薄膜材料在光学、电子技术、原子物理、半导体技术、宇宙技术等领域得到了日益广泛的应用,推动了薄膜制备技术的蓬勃发展,许多新型的镀膜方法与工艺也不断涌现。真空蒸发镀膜始终是一种重要而基本的薄膜制备方法。很多学校把真空镀膜技术进行了推广,要求在校的理、工科学生根据自己所学专业来了解掌握真空镀膜技术。但是现在市场上购买一台普通型真空镀膜机一般需要5万元左右,这样,经费不足,将阻碍了实验的开出。根据这一现实情况,我们设计并制作了一台筒易型真空镀膜机,仪器成本降低为2万元左右。同时,该仪器设… 相似文献
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环形锥面蒸发源模型对沉积膜厚均匀性计算有局限性。针对电子束蒸发镀膜挖坑效应设计一种新的小圆锥体蒸发模型,提出一种新的公式计算沉积膜厚均匀性。采用相同工艺条件,不同时间蒸镀二氧化硅薄膜,验证了小圆锥体模型计算电子束蒸发挖坑膜厚均匀性准确可靠,并成功解释了随着蒸发时间的延长,均匀性变差的原因。该方法可以用于实验教学,真空镀膜工艺以及真空镀膜设备生产领域。 相似文献
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本文对在真空镀膜实验中多种材料的加热和镀层间的配合进行了实验研究,探讨了钨、钼加热器镀铝脆裂的原因,征购睛加热中获得最高成功率 相似文献
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