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亚纳米级抛光是获得超光滑表面的主要方法。目前,常用的亚纳米级抛光方法有化学机械抛光(CMP)、电化学机械抛光(ECMP)、无磨料化学机械抛光(AP-CMP)、磁流变抛光(MRP)等。亚纳米级抛光质量受抛光液、抛光条件和抛光环境等诸多方面的影响。抛光实验室的抛光环境是超光滑表面的重要影响因素之一,必须对抛光环境的各个方面加以科学管理和维护。 相似文献
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仲春、暮春交际有一节气,此时气温升高,雨量增多,万物生长,空气洁净又清明,这便是春耕春种的好时节——清明。清明最初是和农业生产息息相关的节气,那怎么变成节日的呢?这就要说到寒食节了。 相似文献
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