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肖啸 《乐山师范学院学报》2004,19(12):20-22
研究了不同后烘情况下的PAC浓度分布和抗蚀剂的显影轮廓,结果表明适当的后烘可明显减小驻波缺陷,提高光刻质量,而过量的后烘将会导致抗蚀剂图形结构劣化。 相似文献
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合成了以2-氨基-5-巯基-1,3,4-噻二唑为吸附基团,4,4-二甲基-1-苯基-3-吡唑啉酮为增强基团的新型功能性显影促进剂,其结构经IR、1H-NMR、MS和元素分析等得到确证.由于其结构的独特性,可望在促进显影的同时而不导致灰雾增大.可将其直接用来促进显影,或者将其与卤代成色剂母体反应得到DAR成色剂后再用于促进显影. 相似文献
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我们提出了一种新的设计,以制备出具有表面各向异性的多极显影磁辊,这种磁辊比各向同性磁辊的磁性能有较大的提高,表面磁感应强度比原业增加30%-40%。 相似文献
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简述了物理显影记录系统的原理和特性 ,并讨论了PD -D系统和PD -R系统 ,彩色物理显影以及物理显影的应用等 ,以期对物理显影有着更深入的理解 相似文献
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