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新型低温等离子体技术及应用 总被引:2,自引:0,他引:2
等离子体尤其是低温等离子体由于其一系列特殊的性质,广泛应用于薄膜沉积、微电路干法刻蚀、材料表面改性等方面。本文介绍了目前经常采用的几种新型低温等离子体技术,电子回旋共振(ECR)等离子体、射频感应耦合(ICP)等离子体、以及螺旋波(HWP)等离子体。这几种等离子体由于无内电极放电无污染、等离子体密度高、能量转换率高、电离度高等优点必将在传统工艺的基础上得到更广泛的应用。 相似文献
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采用电子回旋共振等离子离子体化学气相沉积(ECR-CVD)方法,以苯为气源,在不同基片温度下制备了氢化非晶碳膜(a-C:H),对样品进行了伏安特性测试,考察了基片温度对样品电阻率与击穿场强的影响,结合薄膜含氢量,SEM、Raman散射等分析手段探索了a-C:H膜的导电机制。 相似文献
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目的:探讨成人依恋等级量表(AAS)、亲密关系经历量表(ECR)、关系调查问卷(RQ)在成人依恋测量中的适用性.方法:利用AAS、ECR、RQ量表对150名大专护理专业学生的依恋类型进行测量,并与以往研究结果进行了对照比较.结果:AAS、ECR、RQ三个量表信效度高,其测量结果与以往研究一致;AAS量表亲近、依赖分量表与RQ量表所测安全型、倾注型相关显著,AAS焦虑量表与RQ量表所测轻视型、害怕型相关显著;AAS量表亲近、依赖分量表与ECR依恋回避分量表相关显著,AAS焦虑量表与ECR依恋焦虑分量表相关显著;AAS四类型分法与RQ量表四类型分法一致;ECR量表与RQ量表的方差分析显示,RQ量表所测依恋四类型在ECR量表依恋回避与依恋焦虑两个分量表上差异显著.三个常用依恋量表具有各自的使用特点与内部一致性. 相似文献
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邹宇飞 《辽宁广播电视大学学报》2011,(2):81-82
本文阐述了构成ECR的要素,以及零售企业通过推广ECR产生的效益和企业在贯彻过程中遇到的阻碍。同时,由于ECR的贯彻执行依赖于电子商务,因此信息技术是零售商采用ECR战略的必要支持条件。 相似文献
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我们采用ECR-PEMOCVD等离子体系统在200℃下对SiC表面进行了氢处理。处理前后我们对SiC表面做了RHEED和XPS分析。通过分析我们发现经过氢等离子体处理的SiC表面比传统湿法的SiC表面平整度更高,C/C-H的含量显著下降,抗氧化能力显著提高提高。 相似文献
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离子注入聚醚砜薄膜的导电特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
岳喜成 《南阳师范学院学报》2003,2(9):37-40,45
用15keV的N^ 和Ar^ 注入PES,纯PES膜表面电导率提高了5个数量级,掺碘PES膜表面电导率提高4个数量级。表面电导率随剂量的变化关系具有饱和性。掺碘使未注入的PES膜表面电导率提高近一个数量级,掺碘对提高注入离子的PES膜的表面电导率作用不大。在低剂量时,注Ar^ 样品的表面电导率大于注N^ 样品的表面电导率。在最高剂量时,表面电导率和注入离子的种类无关。离子注入PES膜的表面电导率在空气中非常稳定。在0~30V范围内,离子注入PES膜的表面电导率随电压的增加而缓慢增加。 相似文献
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电子轰击存贮型脉冲离子源是为高分辨率、高灵敏度飞行时间质谱仪设计的新型离子源.它具有存贮以及时间压缩等特点,使仪器的整体性能有很大提高,质量分辨率达3500.本文推导了二阶时间压缩聚焦条件,论证了存贮性能,给出了计算机模拟及实验结果. 相似文献
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