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光栅测量可用作位移和转角测量,具有测量精度高,性能稳定,可靠,抗干扰能力强,使用和安装方便,产品寿命长等优点.它广泛用于对伺服系统的动态测量和控制,如机床,仪器仪表,生产过程等.其中的圆编码器用于转角测量. 相似文献
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成丹 《天津工程师范学院学报》2008,18(1):17-20
为了满足压印光刻中套刻对准精度的要求,提出了一种基于光闸莫尔原理的粗精两步对准方法.设计了粗精两种对准标记,十字标记作为粗对准标记,等节距的光栅标记作为精对准标记.考虑到实际中通常采用分区步进压印工艺,因此在基片上的每一个压印分区都设计有相应的对准标记.分析了基于该方法的对准原理,得到了光刻机三坐标矢量与检测信号之间的对应关系,证明了该方法可实现x、y、θ三个方向的对准误差检测.在实际应用中,可将该误差信号作为控制系统的驱动信号,对承片台实行闭环控制,实现对准.该方法对压印光刻乃至其它光刻技术中的套刻对准,都具有一定的参考意义. 相似文献
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曹杨 《长春教育学院学报》2014,(22)
内蒙古著名钢琴曲作家莫尔吉胡先生所创作的钢琴独奏曲集《山祭》,具有典型的蒙古族民族艺术特色。这部作品集从多方面反映了蒙古族人民的宗教信仰、生活习俗、民族风情和传统文化,蕴含着丰富的内蒙古高原独特的地域文化内涵,如萨满教信仰文化、狩猎游牧文化、马文化和舞蹈文化等。这部作品集也是第一部内蒙古钢琴音乐作品集,作曲家运用了蒙古族传统音乐语言为我们展现了蒙古族人民多姿多彩的草原生活,表现了曲作者对草原人民和生活的热爱之情,具有很高的艺术价值。 相似文献