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采用磁控溅射技术,通过改变制样工艺条件在SiO2/Si基片上沉积MoS2薄膜,以形成异质薄膜器件,并对其微观结构、形貌特征和NH3探测性能进行表征和分析。研究结果表明,在室温条件下MoS2/SiO2/Si异质薄膜器件表现出了明显的NH3响应性能,并且器件的响应与薄膜厚度和沉积温度存在关联,最高可达230%,远超过单一薄膜。同时,器件的响应速度较快,响应/恢复时间为7.4 s/24.8 s。进一步通过构建界面能带结构图,对器件的气敏机理作了深入阐释。 相似文献
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以六水合硝酸锌为原料,乙酰丙酮为配体剂,无水乙醇为溶剂,氨水为添加剂,制备了乙酰丙酮锌络合物前驱体溶液。以掺氟氧化锡导电玻璃为基底,将前驱体溶液旋涂到基底,在干燥的氮气气氛中,经波长为172 nm的真空紫外光照射5分钟后,可以对前驱体薄膜中的金属有机前躯体进行光化学分解,形成氧化锌薄膜。采用紫外吸收光谱、傅里叶变换红外光谱、X射线光电子能谱、X射线衍射、以及扫描电镜对薄膜进行表征和分析。结果表明,有机配体在真空紫外光光照5分钟内迅速分解和缩聚,生成无针孔、高致密的ZnO薄膜。 相似文献
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《黑龙江大学工程学报》2017,(1)
针对动态测量手指关节角度的需要,设计了基于传感器的手指运动姿态监测方法。从可穿戴式设备的角度出发,在分析了PVDF压电薄膜传感器、电阻应变片和三轴加速度计ADXL330工作原理的基础上,设计了动态角度测量实验和3组监测实验;传感器固定在手套的对应关节的位置处。对比3组实验,分析实验数据,得到结论:PVDF压电薄膜传感器动态响应快,适合高频激励下手指运动姿态的监测;电阻应变片在高频激励下的响应有一定的延迟,这种响应迟后对动态应变测量会产生误差,其比较适合低频激励下手指运动姿态的监测;加速度计ADXL330在低频激励下能较好地实现对手指运动姿态的监测,其工作的稳定性和可靠性良好。 相似文献
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《中国科技论文》2017,(16)
针对氧化铟掺锡(ITO)透明导电加热膜存在的抗弯折能力差、升温速率慢、稳态温度低等问题,提出了1种结合龟裂模板和电镀工艺构筑柔性ITO/Au网格复合透明加热膜的方法。通过扫描电子显微镜、紫外可见分光光谱仪、四探针测试系统和红外热成像仪等手段对比研究了ITO/Au网格复合膜与ITO薄膜光电性质的差异。结果表明,将Au网格与ITO薄膜复合可以在舍弃较小ITO薄膜透过率的情况下大幅降低ITO薄膜的面电阻,从而将其品质因数提高将近3倍;即使经过1 000次小半径弯折,ITO/Au网格复合膜的面电阻并未增加;在相同的加热电压下,ITO/Au网格复合膜的稳态温度显著高于ITO薄膜。相比于ITO薄膜,ITO/Au网格复合膜具有更优良的光电性能及电加热性能。 相似文献