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1
1.
(110)取向镍酸镧导电薄膜的制备及性能研究
总被引:1,自引:0,他引:1
蔡洪涛
李幸福
张新安
丁玲红
张伟风
《天中学刊》
2006,21(2):25-27
采用化学溶液法在SiO2/Si(100)衬底上制备了LaNiO3导电薄膜,研究不同热解温度、不同薄膜厚度对LNO薄膜结构和导电性的影响,结果发现薄膜均呈现(110)择优取向生长,尤其是650°C退火6层的薄膜(110)相对取向度最大为2.05,750°C退火的薄膜电阻率最小,且电阻率随时间和厚度的增加而变大.
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