不同沉积气压制备微晶硅薄膜的表面粗糙度标度行为研究

采用VHF-PECVD技术制备了两个气压系列不同生长阶段的微晶硅薄膜,通过椭圆偏振技术研究了生长过程中微晶硅薄膜表面粗糙度的演化.实验结果表明：沉积气压Pg=70 Pa时,生长指数β=0.22±0.023,对应有限扩散生长模式;Pg=300 Pa时,β=0.81±0.099,其超出标度理论中β最大值为0.5范围,出现异常标度行为,表明：在微晶硅薄膜生长中还要考虑其它粗糙化因素（如阴影作用会增加薄膜表面的粗糙化程度,使生长指数β增大）.     

从泰勒原理看物理实验课堂经验教学

学生对物理前概念的理解对今后知识的构建和认识发展起着至关重要的作用,而前概念有些是“反教育的”,有些是“教育性的”.因此,教师应该在学生认知中的固有思维方式基础上设计出适合他们自身的实验,引导其中具有教育意义的经验,改造其“反教育性”的经验.     

空气中YAG激光诱导Cu等离子体羽的研究

利用Nd:YAG脉冲激光诱导金属Cu靶,在空气中产生激光等离子体羽,获得了Cu等离子体羽的空间光谱;研究了等离子体谱线结构;分析了离焦量为-2 mm时,不同空间位置处等离子体的空间演化规律;并讨论了等离子体光谱的产生机制.