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田新衍 《湖北第二师范学院学报》2014,31(8)
西门子法生产多晶硅过程中副产大量的四氯化硅.近几年来,企业为了降低成本、采用冷氢化工艺将四氯化硅转为三氯氢硅循环再利用.本文重点讲叙冷氢化应用技术研究与探讨. 相似文献
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