纳米金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律和理论

给出了动态厚度效应特征时间的公式，灵敏度Sn与膜厚l的关系和存在最佳膜厚的特征，电导激活能随膜厚变化的特征。提出了发展气敏机理的扩散反应功能概念；提出了在纳米气敏晶粒中引入介观效应概念和修正Fermi统计的要求。