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本文采用等离子体激活化学气相沉积制备了SnO2掺杂透明导电膜,并研究了薄膜的光学和电学性能,制得的薄膜电阻最低约为17Ω/口,其可见光透射率为85%以上,红外吸收率为80%左右,还测得该膜具有负温阻特性。 相似文献
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