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基于修正莫尔信号的超精密定位技术 总被引：4，自引：0，他引：4
提出了一种新的超精密定位方法,该方法基于修正莫尔技术,以衍射光栅作为定位标记,可有效提高位置检测信号的灵敏度,且结构简单.建立了双光栅位移测量的数学模型,并进行了计算机仿真,用实验验证了激光莫尔信号特性的理论计算结果与实验测定结果的一致性.在此基础上,构建了一套以工业控制计算机为核心的精密定位装置,以修正莫尔信号为控制信号,由微机控制实现精密自动定位.系统通过软硬件方面的一系列抗干扰措施,确保了定位的高精度.实验结果表明基于修正莫尔信号的全自动精密定位装置可获得5 nm的位移分辨率及±0.5 μm的定位精度. 相似文献
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