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针对PECVD中等离子体的密度沿径向分布均匀性较差、空间气氛化学活性较差的问题，在PECVD的基础上加入电子发射源和正交电磁场以控制电子的运动，从而增强等离子场的强度和范围，使反应场的活力增加，以提高反应空间的活化能力，继而提高膜层质量.结果表明，该方法可以使等离子场的分布发生改变，可控制、调整等离子体密度及范围. 相似文献
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