清洁、节能、低运行成本的新一代高真空抽气机组

高真空抽气机组简介 目前,国内外大型高真空设备普遍采用抽速几万升每秒的大型扩散泵和几百至几千升每秒的大型罗茨泵机组抽气,能耗高,油蒸汽污染严重,是目前真空产业中亟待解决,但一直未能攻克的一大难题。