MEMS微镜及其阵列

通过对MEMS微镜及其阵列的原理和结构,以及MEMS微镜及其阵列在光交换、光谱采集和投影成像领域的应用和国际研究进展进行了阐述。指出了我国在微镜及其应用系统的开发研究方面与国际上的差距并指出了努力的方向。