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近些年来,随着全球信息技术的快速发展,各国都已经先后进入到了工业化自动化,现代信息化的全方位发展领域。而微电机作为高新技术的结合产品,早已引起了各国的高度重视,成为各国聚焦的重要产业。也正因如此,加强对微电机制造工艺现状及其发展动向的研究则显得尤为重要。本文笔者即结合个人实践工作经验,从微电机制造工艺现状入手进行粗浅的探讨,并提出其未来的发展动向。 相似文献
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