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本文采用射频磁控溅射方法制备了DyFeCo非晶磁光薄膜,研究了氩气压、溅射功率对DyFoCo薄膜性能的影响,实验表明:反射率随惶气压升高而降低,矫顽力随敢压升高而逐渐增大,达到一定值时克尔回线反应,随后矫顽力又逐渐减少,高气压下的矫顽力温度特性较低气压下的矫顽力温度特性要好,但氩气压进一步升高,磁光克尔回线矩形度变差,本征磁光克尔角随氩气压升高而增大,到达最大值后又逐渐减少。反射率随溅射功率增加而 相似文献
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