电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化影响浅析

通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪检测铝诱导非晶硅薄膜的场致固相晶化的情况,分析了电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化的影响.     

铝诱导非晶硅场致晶化检测方法的比较

非晶硅晶化的检测仪器有很多,主要有扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪.采用上述检测仪器检测铝诱导非晶硅样品的场致晶化,讨论了各种检测手段对分析铝诱导非晶硅场致晶化情况的影响和意义。