半导体光电子器件制造业MES的应用与发展

对半导体光电子行业MES(Manufacturing Execution System)的应用现状做了总结,分析了现有系统的功能属性、模块分类及使用效果,归纳了目前系统的技术特点和存在的问题,并在此基础上指出了半导体光电子行业MES系统体系结构的发展方向,以供企业设计MES系统参考。