射频MEMS开关中金属剥离工艺研究

研究用BP212正性光刻胶（浸泡氯苯）、AZP4620正性光刻胶（浸泡氯苯）、AZ5214E反转光刻胶光刻后的图形剥离金属的难易度及图形质量．用扫描电镜（SEM）观察不同光刻胶及浸泡氯苯后的侧壁图形,并分析不同侧壁图形的形成机理,找出最佳工艺参数,并应用于射频MEMS开关制作中的金属剥离．     

浅谈《电路分析基础》中“节点电位法”的教学

介绍了《电路分析基础》课程中“节点电位法”的适用范围、使用步骤、使用注意事项,举例说明学生在学习中经常出现的几种错误类型,在教学中通过一题多解的方法强化学生对节点电压法、网孔电流法的理解和应用.     

高职微电子技术专业实验室的构建

高职微电子专业实验室建设普遍面临因投入过大而无法实施的困境。基于工作岗位和人才培养目标的分析,提出了与核心工作岗位培养相适应,自建与企业共建相结合的微电子专业实验室的建设目标和建设方案,实施效果较显著。