隐埋空气隙柔性凸点硅微加工制备工艺分析

柔性凸点技术是解决当前晶圆级封装柔性适应性的关键技术之一.对比了传统CWLP柔性凸点技术的基础上给出了新型隐埋空气隙柔性凸点结构,分析了采用隐埋空气隙的柔性凸点结构作用柔性适应性原理及特点.对比分析各类CWLP器件柔性凸点制备技术基础上,结合硅微加工工艺探讨并给出了隐埋空气隙的柔性凸点的完整结构制备工艺流程.结果表明,基于硅微加工技术制备隐埋于重分布铜互连线下方空气隙的柔性凸点结构制备工艺合理,应用所给出的制备工艺制造完成了 CWLP器件隐埋空气隙柔性凸点结构.     

纸棒的制作与妙用

<正>废弃的报纸,稍微加工一下,就能制作一个漂亮的教具,不仅能调动学生上体育课的兴趣,提高练习密度,还能培养学生的动手和创新能力。本文主要介绍巧制纸莲湘、彩带棒、三节棍和接力棒的方法和妙用(如右表)。     

Effects of parameters in femtosecond laser micromachining on ablation of silicon

A series of ablation experiments on silicon surface by femtosecond laser system of 775 nm and 150 fs duration pulses were carried out.The morphological characteristics and the associated effect in the ablation were tested by atomic force microscope (AFM),scanning electron microscope (SEM),focused ion beam (FIB),and the optic microscope.The single pulse threshold can be obtained directly.For the multiple pulses,the ablation threshold varies with the number of pulses applied to the surface due to the incubation effect.By analyzing the experimental data,the thresholds of laser fluences under various laser pulse numbers were obtained,and the relationships between ablation area and laser energy and laser pulse number were concluded.Meanwhile,the periodic ripple structure on silicon surface was found.Under the condition of certain laser power,the number of laser pulse can influence the formation of ripples.     

STM在Ti表面上的超额微加工

论述了在大气状态下扫描隧道显微STM在Ti表面上的电场加工实验，并对作用机理进行了分析，确定表面结构的生成为准接触和电场诱导氧化的综合作用。     

锯齿形边缘石墨烯纳米周期性结构研究取得系列进展

中科院物理所／北京凝聚态物理国家实验室（筹）的纳米物理与器件实验室张广宇研究组利用石墨烯的各向异性刻蚀效应与传统微加工技术结合起来,发展出了一种精确可控地制备具有原子级平整的锯齿形（zigzag）边缘结构的石墨烯纳米结构的技术。     

纳米科技 全面理解内涵 促进健康发展(摘要)

纳米科技在我国骤然变热,说明纳米科技本身所蕴涵的巨大发展潜力得到了社会各界的广泛关注,尤其是企业界的热请参与,应给予充分肯定.这使纳米科技在我国的快速发展具备了比较有利的外部环境.同时,也应该看到,最近一0个时期以来,对纳米科技概念的某些误解以及伪纳米产品的出现,使得有些人开始怀疑纳米科技本身正在发生的作用.有关针对纳米科技出现的种种现象提醒从事纳米科技的科技工作者和企业界人士,应该对当前的"热"有清醒的认识,尤其需要对纳米科技的内涵和纳米科技的发展趋势做进一步的思考,防止一些概念上的谬误和炒作损害这一新兴的前沿科技在我国的健康发展.     

STM在Ti表面上的超额微加工

论述了在大气状态下扫描隧道显微STM在Ti表面上的电场加工实验,并对作用机理进行了分析,确定表面结构的生成为准接触和电场诱导氧化的综合作用.     

金刚石表面飞秒激光直写微米石墨线

利用120 fs、800 nm钛蓝宝石飞秒激光器微纳加工系统,在化学气相沉积金刚石薄片表面进行了石墨化的研究,得到了导电性良好的微米尺度的石墨线。利用Raman光谱研究了激光的功率、激光扫描速度等对石墨化程度的影响规律。结果表明,在飞秒激光直写区域有纳米晶石墨、无定型碳及残留金刚石存在。优化辐照激光能量和激光扫描速度参数,可以得到较好的纳米晶石墨线结构。以10μm/s扫描速度,1.14μJ激光能量刻写出了毫米级长度的石墨线。利用半导体电阻测试仪对其伏安特性进行了测试,测得1 mm长石墨线的电阻约67.2 kΩ。该研究对基于金刚石的生物传感器、放射量测定计,及器件内掩埋石墨电极等制备都有一定的指导意义。