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1.
N~+和N_2~+离子注入硅的材料性能研究
王国全
解英艳
《大连大学学报》
2005,26(2):14-16,57
本文应用X射线衍射方法、红外光谱分析方法、
扩展电阻
测量方法研究了N+和N+2注入硅的应变、损伤度、
扩展电阻
率随注入剂量、注入深度变化的规律,形成Si3N4非晶层的条件.建立了多层的物理模型和胁变函数的数学模型,利用计算机和曲线拟合等手段,得出了合理的结论.
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