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研究用BP212正性光刻胶（浸泡氯苯）、AZP4620正性光刻胶（浸泡氯苯）、AZ5214E反转光刻胶光刻后的图形剥离金属的难易度及图形质量．用扫描电镜（SEM）观察不同光刻胶及浸泡氯苯后的侧壁图形,并分析不同侧壁图形的形成机理,找出最佳工艺参数,并应用于射频MEMS开关制作中的金属剥离． 相似文献
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波形信号发生器是一种常见的信号源,广泛的应用在高职高专、普通高校的理工科基础实验中。目前使用的波形信号发生器大部分是利用51单片机及其相关电子电路组成,体积较大、产生的波形类型较少且准确度较低。而采用PICl8F4620单片机设计的信号发生器,可以产生方波、三角波、锯齿波和正弦波等四种波形,在完全能够满足理工科的基础实验信号需求的同时,对波形的周期、频率等关键参数具有数字化和在线调整等优点。 相似文献
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波形信号发生器是一种常见的信号源,广泛的应用在高职高专、普通高校的理工科基础实验中。目前使用的波形信号发生器大部分是利用51单片机及其相关电子电路组成,体积较大、产生的波形类型较少且准确度较低。而采用PICl8F4620单片机设计的信号发生器,可以产生方波、三角波、锯齿波和正弦波等四种波形,在完全能够满足理工科的基础实... 相似文献
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