TCAD在“半导体工艺”课程中应用的教学探讨

分析了TCAD技术的主要功能,探讨其在“半导体工艺”课程教学中的应用。并以半导体工艺中的蚀刻为例,利用TCAD技术中ATHENA工艺仿真模块,对比了湿法蚀刻和干法蚀刻的特点。     

采用B/S架构的半导体TCAD网络实验教学平台构建研究

基于B/S(浏览器/服务器)架构,开发了一款适用于高校微电子专业实验教学的半导体TCAD网络实验教学平台。该平台的核心是一台运行于Linux系统的高性能服务器,TCAD软件运行在服务器端,教学平台管理者(教师)拥有利用telnet、SSH等终端登录工具登录服务器的资格和权力,而学生则通过指定端口利用浏览器来使用该平台。该平台的优点是由于学生只需通过基于Windows系统的浏览器访问服务器,不必熟悉Unix或Linux等类Unix操作系统,极大地方便了学生的使用,并且无需在服务器端为每个学生建立账户,可节省服务器硬件成本和网络管理成本,并大大地提高了系统的安全性。同时,采用该方式降低了服务器的负载,初步实验结果显示采用该方式比采用传统的图形界面登录服务器时的负荷降低了约58%。