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| 具有电荷补偿层的SiCGe/SiC光控晶体管的特性模拟 | |
| 作者姓名： | 任杰 温菁 |
| 作者单位： | 西安卫光科技有限公司,陕西西安,710065 |
| 摘 要： | 本文提出了一种具有电荷补偿层的SiCGe/SiC的光控晶体管,主要利用SiCGe与SiC构成异质结来克服SiC材料对大部分可见光和全部红外光的不敏感性。结构上,在传统的npn晶体管底部加了一层P型电荷补偿层,在横向和纵向电场的相互作用下,来改善器件的性能。 |
| 关 键 词： | SiC/SiCGe 电荷补偿 光控晶体管 |
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