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| 真空退火对非晶硅薄膜的暗电导和光电导的影响 | |
| 作者姓名： | 洪正平 梁伟 |
| 作者单位： | 山东师范大学物理系(洪正平)，济南大学物理系(梁伟) |
| 摘 要： | 本文报道对用SiH_4辉光放电方法和溅射法制备的本征a—Si(非晶硅)薄膜样品,进行高真空退火的电导变化效应。 |
| 关 键 词： | 非晶硅薄膜 退火 暗电导 光电导 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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