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| 电子束热源在真空镀膜设备中的应用 | |
| 引用本文： | 侯鹤岚.电子束热源在真空镀膜设备中的应用[J].电大理工,2000(2):42-43,46. |
| 作者姓名： | 侯鹤岚 |
| 作者单位： | 营口高等职业专科学校,营口 |
| 摘 要： | 本文就电子束热源在夫空镀膜设备中的应用原理，特点，类型选择及设计中的若干问题进行了探讨。 |
| 关 键 词： | 电子束 真空镀膜 蒸镀材料 电子器件 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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