| 低压射频等离子体实验研究 |
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| 引用本文： | 杜凯,李明远. 低压射频等离子体实验研究[J]. 哈尔滨学院学报, 2002, 23(8): 24-26 |
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| 作者姓名： | 杜凯 李明远 |
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| 作者单位： | 哈尔滨学院,物理与电子工程系,黑龙江,哈尔滨,150080 |
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| 基金项目： | 2002年黑龙江省教育厅科学技术研究指导项目(10513015)，哈尔滨学院科研基金资助项目 |
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| 摘 要： | 文章提出了低压射频等离子体实验设计体系，应用飞行时间谱仪和Langmuir单探针，测定Langmuir型V－I曲线，其中包括等离子体温度信息。
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| 关 键 词： | 低压射频 等离子体 实验设计 飞行时间谱仪 温度信息 |
| 文章编号： | 1004-5856(2002)08-0024-03 |
On the Experiment of Low Press RF Plasma Body |
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| DU Kai, LI Ming-yuan. On the Experiment of Low Press RF Plasma Body[J]. Journal of Harbin University, 2002, 23(8): 24-26 |
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| Authors: | DU Kai LI Ming-yuan |
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| Abstract: | The paper discusses the design of the experiment of low press radio-frequency plasma, using TFS and Langmuir to get V-Icurve including temperature of plasma body. |
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| Keywords: | radio-frequency plasma body |
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