同步辐射X射线在多层膜性能研究方面的应用

多层膜性能的优劣很大程度上取决于其周期结构，周期要求稳定、均匀，界面要求平滑、清晰。小角衍射方法可定性分析多层膜的周期性、周期厚度和界面平滑程度。同步辐射光源具有通量大、亮度高、频谱连续可调等优点，非常适合于这方面的研究。